Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS Poly #293813384 zu verkaufen

ID: 293813384
Poly etcher.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS Poly Reactor ist ein effizientes und zuverlässiges Werkzeug, das speziell für die präzise Abscheidung von polykristallinen Folien entwickelt wurde. Dieses Tool kombiniert die Leistung einer ultradünnen Oxidfilmabscheidung mit der Flexibilität der Applied Centura Plattform und liefert präzise und wiederholbare Ergebnisse unabhängig von den Abscheidungsparametern oder -filmen. AMAT Centura DPS Poly Reactor ist ein präzises und zuverlässiges Werkzeug zum Abscheiden von Folien für den Einsatz in mikroelektronischen Anwendungen. Die Plattform basiert auf der AMAT Centura 500 Cx Plattform, die für eine präzise Filmabscheidung optimiert wurde. Diese Plattform ist in der Lage, eine optimale Kombination aus Plasmabearbeitung und variabler Filmabscheidung zu bieten, um präzise und wiederholbare Ergebnisse für jeden Abscheidungslauf zu liefern. Es enthält eine Hochdruck-Glimmentladungsquelle, um eine präzise und wiederholbare ionisierte Polymerabscheidung und eine ausgeklügelte Robotik zur Automatisierung der Plasmabearbeitung, der variablen Filmabscheidung und der Gleichmäßigkeit der Verdichtung bereitzustellen. Neben der Hochdruck-Glimmentladungsquelle bietet die Plattform auch ein Pre-Deposition-Diagnosesystem und eine Temperaturprofilsteuerung, die es ermöglicht, die Substratoberfläche mit einer Echtzeit-Temperaturprofilsteuereinheit zu überwachen. ANGEWANDTE MATERIALIEN CENTURA DPS + POLY Reactor ist eine hochvolumetrische Detektor- und Reaktormaschine, die präzise und wiederholbare Filmwachstumsraten ermöglicht. Die Centura-Plattform ermöglicht es dem Benutzer, den Druck und die Prozessbedingungen sofort anzupassen, sodass er seine gewünschten Ergebnisse schnell und präzise erzielen kann. Die Plattform verfügt auch über ein fortschrittliches Kammerdesign, das die Verarbeitungseffizienz maximiert, mit mehreren HF-Stromversorgungen, optimierter Kammergeometrie und gepulster Plasmainjektion. Dieses Werkzeug ermöglicht auch eine präzise Kontrolle der Abscheidetemperatur und des Drucks, wodurch manuelle Anpassungen entfallen. AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA DPS + POLY Reactor ist ein vielseitiges und äußerst zuverlässiges Werkzeug zur polykristallinen Filmabscheidung. Es wurde speziell für die Abscheidung von polykristallinen Folien für verschiedene Anwendungen in der Mikroelektronikindustrie entwickelt. Die Anlage ist sehr zuverlässig und liefert präzise und wiederholbare Ergebnisse unabhängig von den Depositionsparametern oder -filmen. Die Plattform ist in der Lage, hochwertige polykristalline Folien in kurzer Zeit zur Verfügung zu stellen und sein fortschrittliches Kammerdesign sorgt für eine effiziente Verarbeitung und Gleichmäßigkeit bei der Verdichtung.
Es liegen noch keine Bewertungen vor