Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS R1 #9188285 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS R1 ist ein CVD-Reaktor (Chemical Vapor Deposition), der für die Abscheidung ultradünner, homogener Filme auf integrierten Schaltungen und Geräten ausgelegt ist. Das Gerät eignet sich besonders für Abscheideanwendungen, bei denen Präzision und hochwertige Folien gefordert werden. Es verfügt über mehrere unabhängige Hochvakuumkammern und eine Dual-Frequenz-HF-Stromversorgung für optimale Prozesssteuerung und Gleichförmigkeit auf großer Fläche. Die Hauptkammer des Systems enthält zwei Hochfrequenzquellen, die eine als Hochfrequenzquelle und die andere als Niederfrequenzquelle. Die Niederfrequenzquelle liefert Hochenergieimpulse, um die Abscheidung dickerer Schichten für den Schaltungsschutz zu ermöglichen oder die Schäden durch Hochleistungslaserschreiben zu reduzieren. Beide Quellen können gleichzeitig genutzt werden, um eine gleichmäßige Abscheidung über das gesamte Reaktionsgebiet zu erreichen. Die Kammer ist mit einem Quarz-Suszeptor verbunden, der Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 12 Zoll abstützen kann. Das Gerät ist mit einer fortschrittlichen Gassteuerungsmaschine mit automatisierter Temperatur- und Druckregelung ausgestattet. Dadurch kann der Anwender den Abscheideprozess präzise steuern, wodurch eine optimale Verdampfung und Abscheidung des Materials gewährleistet ist. Das Werkzeug ist außerdem mit einer rechnergesteuerten Optimierungskammer zur Gleichmäßigkeit der Abscheidung über den gesamten Arbeitsbereich ausgerüstet. Die Kammer kann mit einer Reihe von Probenhaltergrößen ausgestattet werden, ideal für verschiedene Anwendungen. AMAT Centura DPS R1 ist für eine breite Palette von CVD-Folien entwickelt, einschließlich Silizium, Wolfram, Titan, Silizid und Aluminium. Es wurde auch zur Abscheidung von Nitrid- und Oxidschichten verwendet, und die Fähigkeit, verschiedene Gasinjektionssysteme zu verwenden, gewährleistet optimale Filmeigenschaften. Die Anlage eignet sich sowohl für Hochgeschwindigkeits-Produktionslinien als auch für Laborforschungsanwendungen. Das Modell kann schnell für eine Vielzahl von Konfigurationen programmiert werden. Darüber hinaus verfügt es über verschiedene Sicherheitsmerkmale und wurde entwickelt, um die Sicherheit des Bedieners zu gewährleisten, so dass es ideal für Produktionsumgebungen ist. Das Gerät verfügt auch über Prozessüberwachungs- und Tuningmechanismen, um maximale Effizienz und Zuverlässigkeit zu gewährleisten.