Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS R1 #9188286 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS R1
ID: 9188286
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1998
Etcher, 8" Process: Metal 1998 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS R1 ist eine vielseitige und kompakte Einzelwafer-Vakuumabscheidung. Mit seinem schnellen Zugriffsdesign kann es als ideales System für zahlreiche Abscheideprozesse konfiguriert werden. Es bietet Wafer-Transfer innerhalb des gleichen Clusters, ohne dass Substrat Pendeln zwischen Schichten. Die durch die Einheit ermöglichten Abscheidungsprozesse sind Einzel- und sequentielle PVD-, ALD-, Sputter-, Oxidations- und amorphe siliciumbasierte Prozesse. Die DPS R1 Maschine ist für die Wirtschaftlichkeit der Bewegung, Software-gesteuerte Bewegungssteuerung, Bereitstellung von Betriebszeit und Maximierung des Durchsatzes konzipiert. Es ist mit vollständiger Prozessdiagnose und Automatisierung geladen, die alle Komponenten in einer Abscheidung überwacht, was zu wiederholbaren und zuverlässigen Prozessen führt, die zur Verbesserung der Erträge beitragen. AMAT Centura DPS R1 ist für dielektrische, Metall- und Passivierungsfolien sowie bei reduziertem oder erhöhtem Druck abgeschiedene oder geätzte Filme konzipiert. Dies hilft, Substratspannung und Ätzselektivität zu steuern. Das Werkzeug ist vollständig integriert und umfasst ein Quarzglockenglas, ein Vakuum-Asset, eine Ladestation und eine Automatisierung der Waferübertragung. Die integrierte Software ist eine intuitive grafische Benutzeroberfläche mit AMAT Genesis Software. Diese Software bietet einen beispiellosen Blick in Echtzeitdaten und nutzt die intelligente Diagnose, um den Debugging-Prozess zu rationalisieren. Es bietet auch einfach zu interpretieren Schnittstellendaten und kann wiederholende Aufgaben schnell zu bewältigen. Zusätzlich bietet die intuitive Graphical User Interface (GUI) einen geführten Ansatz und optimiert den Abscheideprozess. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura DPS R1 ist auf Smart Tower-Technologie zugeschnitten und trägt zur Reduzierung von Wartungsausfallzeiten und -kosten bei. Mit bis zu drei Prozessmodulen, die in einem einzigen Modell integriert sind, reduziert es Werkzeugkonfigurationszeit und Investitionsaufwand. Das energieeffiziente Design hilft auch, einen verbesserten ROI zu liefern. Zusammenfassend ist Centura DPS R1 eine kostengünstige, leistungsstarke Einzelwafer-Vakuumabscheidung, die eine schnelle Lieferung konsistent wiederholbarer Prozesse mit einer einfach zu bedienenden grafischen Benutzeroberfläche für die Echtzeit-Datenverarbeitung ermöglicht. Mit seinem vereinfachten Design und seinen leistungsstarken Eigenschaften eignet es sich gut für Abscheideprozesse in der Halbleiterindustrie.
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