Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #198321 zu verkaufen

ID: 198321
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1997
Polysilicon etcher, 8" (3) Chambers Centura 1 mainframe Position A: DPS Poly R1 Position B: DPS Poly R1 Position D: DPS Poly R1 Position F: Orientor Narrow body load lock HP Robot NBLL's (2) Generator racks (1) System controller RF generators, RF55 Source RF Gen, RF20R Leybold mag drive L turbo controller Lid lift present 1997 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS Werkzeug ist ein Produktionsmaßstab und forschungserprobte chemische Dampfabscheidung (CVD) Reaktor. Der Reaktor bietet eine fortschrittliche, plasmaverbesserte Abscheidungsplattform für ein breites Spektrum an Materialien und Anwendungen auf produktionstauglichen Produktivitätsniveaus. AMAT Centura DPS-Geräte bieten einzigartige Abscheidefunktionen mit einer Niederdruck-Abscheidekammer und einem Plasmagenerator. Der Abscheidekammerdruck kann auf optimale Prozessselektivität eingestellt werden, und der gepulste, programmierbare Wellenformgenerator kann die einzigartige Plasmaquelle präzise abstimmen. Als zusätzlichen Vorteil hat das System die Fähigkeit, reaktive und nicht-reaktive Prozesse zu unterstützen, einschließlich chemischer, atomarer Schicht und physikalischer Dampfabscheidungen. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura DPS-Einheit verfügt über ein fortschrittliches, mehrzoniges Reaktordesign mit mehreren Ebenen der Adressierbarkeit. Dies ermöglicht einen gleichmäßigen Prozess über die gesamte Substratoberfläche sowie eine beispiellose Reproduzierbarkeit von Merkmalen. Die Vielseitigkeit der Reaktoren ermöglicht die Abscheidung von Dielektrika, Halbleitern und Metallen auf verschiedensten Substratgrößen. Mit der Advanced Load-Locker Technology und der True In-Situ Process Control sorgt die DPS-Maschine von Centura für eine genaue Abscheidung aller Materialien mit hoher Reproduzierbarkeit. Die intuitive grafische Benutzeroberfläche ermöglicht die Steuerung des gesamten Prozesses von Abscheidungsparametern bis hin zu Gasdurchfluss und Druck. Dies ermöglicht genaue und wiederholbare Ergebnisse. Die fortschrittliche Prozessleistung von AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS ist auch für höhere Durchsätze optimiert. Dieses fortschrittliche Asset unterstützt auch die Remote-Modellsteuerung und die erweiterte Datenanalyse und bietet Flexibilität und höhere Effizienz für die moderne Produktionsumgebung von heute. Die Vorteile von AMAT Centura DPS Geräten sind zahlreich. Die Vielseitigkeit, Einfachheit und der Durchsatz des Systems werden konstant reproduzierbare Ergebnisse und ein höheres Maß an Prozessgenauigkeit liefern. Darüber hinaus bietet dieses Gerät ultrahohe Vakuumwerte, die eine optimale Steuerung und Reproduzierbarkeit des Prozesses ermöglichen. Dies ermöglicht Kosteneinsparungen und ermöglicht gleichzeitig maximale Erträge und Flexibilität.
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