Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #293603772 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS (Deposition Process Equipment) Reaktor ist ein fortschrittliches Halbleiterherstellungswerkzeug, das bei der Abscheidung von dünnen Schichten verwendet wird, die in verschiedenen Halbleiter- und anderen elektronischen Produkten verwendet werden. Das System wird verwendet, um hochwertige dünne Filme auf Wafern und anderen Substraten mit einer ausgezeichneten konformen Abdeckung abzulegen. Dies geschieht durch Zuführen einer Prozessgaschemie zu der Oberfläche des Substrats mit einer bestimmten Strömungsgeschwindigkeit und einem bestimmten Druck. Die Fähigkeit, den Gasstrom aus der Anlage zu steuern, gewährleistet, dass die richtige Gasströmungsform während des gesamten Prozesses beibehalten wird, was zu einer homogenen Abscheidung führt. Das Abscheidungsverfahren verwendet ein Paar Magnetrons zur Abscheidung. Sowohl der Wafer als auch der Substrathalter bewegen sich gemeinsam auf den x-y-z-Achsen, wobei der Wafer durch ein Vakuumfutter für stabile Wafertemperatur gehalten wird. Der Wafer wird dann dem Prozeßgas ausgesetzt, das zur gewünschten Folie reagiert. Der AMAT Centura DPS Reaktor ist mit Strom-, Gas- und Flüssigkeitsversorgungssystemen ausgelegt, die sicherstellen, dass Prozessparameter genau gesteuert werden können. ANGEWANDTE MATERIALIEN Der DPS-Reaktor Centura erreicht eine hohe Wiederholbarkeit innerhalb einer Charge und bietet gleichzeitig eine stabile Umgebung, um eine gewünschte Folienqualität zu erreichen. Die Inline Automated Quality Control Machine (AQC) des Geräts überwacht das Substrat während des gesamten Abscheideprozesses. Dies geschieht durch Messung der Wafereigenschaften, wie Reflektivität, Überlagerung, Dicke und Oberflächenrauhigkeit. Darüber hinaus bietet das AQC zusätzliche Vorteile wie automatische Prozessoptimierung, Filmspannungsregelung und automatische Fehlerinspektion und -klassifizierung. Centura DPS Reaktor hat eine Reihe von Vorteilen gegenüber anderen Abscheidungssystemen. Dazu gehört die Möglichkeit, eine Reihe von Materialien, wie organische und anorganische, zu verarbeiten und den Wafer selbst zur In-situ-Überwachung und Prozessoptimierung zu verwenden. Darüber hinaus kann der Reaktor zur Abscheidung verschiedener Folienarten, wie Metalle, Dielektrika und Isolatoren, sowie einer Reihe geometrischer Merkmalsgrößen eingesetzt werden. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS Reaktor ist eine ideale Wahl für die Herstellung von Halbleitern und anderen elektronischen Produkten.