Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9093380 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS
ID: 9093380
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1997
Poly etcher, 8", 1997 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS ist ein einzigartiger Mehrkammer-Nassverarbeitungsreaktor für die nächste Generation der Fertigungs- und Technologieentwicklung. Dieser Reaktor ist mit mehreren Kammern ausgestattet und bietet eine innovative und flexible Lösung für Prozessanforderungen. Der Reaktor bietet eine ideale Kombination aus hohem Durchsatz, schneller Prozesswende und hervorragender Prozesssteuerung. AMAT Centura DPS Reaktor ist eine Kombination aus mehreren Kammern mit Abscheidung und Ätzfunktionen ausgestattet. Dies ermöglicht die Integration mehrerer Prozessschritte in einen Reaktor. Es ist ideal für zwei-mal-zwei Systeme, wo zwei Abscheideprozesse in einer Kammer durchgeführt werden können, mit zwei Ätzprozessen in einer anderen Kammer. Dies ermöglicht eine schnelle Produktion und die Flexibilität, Prozessparameter im Handumdrehen anzupassen. Der Reaktor verfügt über mehrere Funktionen für mehr Kontrolle, einfache Bedienung und Wartung. Es hat eine Verbundkeramik ausgekleidete Vakuumkammer, mit hoher Treue Roboterarme und eine mehrachsige Bewegungssteuerung. Das Vakuumkammerdesign bietet ein überlegenes Wärmemanagement und eine verbesserte Prozesssteuerung, während die Roboterarme und die mehrachsige Bewegungssteuerung eine hervorragende Wafer-Handhabung und Prozesssteuerung bieten. Weitere Merkmale wie Hochleistungs-HF-Generator und optische Emissionsspektroskopie sorgen für überlegene Prozessgleichförmigkeit und Wiederholbarkeit. Der Reaktor hat die Fähigkeit, große Substrate mit Verarbeitungszeiten bis zu Minuten zu verarbeiten. Es kann auch kleinere Substrate in einem Bruchteil dieser Zeit verarbeiten. Dies liegt an der hocheffizienten Bearbeitungskammerauslegung und dem optimierten HF-Stromversorgungssystem. Sie eignet sich für serien- und forschungs- und entwicklungsnahe Anwendungen. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura DPS Reaktor ist ein vielseitiges und leistungsstarkes Werkzeug für Forscher und Hersteller gleichermaßen. Es bietet eine ausgezeichnete Prozesskontrolle mit hohem Durchsatz, konsistenten Abscheideraten und überlegenem Wärmemanagement. Es bietet eine flexible Lösung, die eine Vielzahl von Prozessaufgaben bewältigen kann. Der Reaktor eignet sich ideal für die Serienproduktion sowie Forschung und Entwicklung und ist hocheffizient, schnell und zuverlässig.
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