Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS+ #9188292 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS + ist ein Hochleistungs-CVD-Reaktor (Chemical Vapor Deposition), der die Abscheidung fortschrittlicher Materialien mit einem hohen Grad an Prozesskontrolle unterstützt. Mit einem branchenführenden Kammerdesign kann der AMAT Centura DPS + Reaktor Materialien mit höherer Qualität und Zuverlässigkeit abscheiden als andere CVD-Systeme. Es ist für die großvolumige Produktion von Materialien wie Graphen, Kohlenstoff-Nanoröhren und verschiedenen Oxidmaterialien sowie die Abscheidung von Dielektrika, Metallen und anderen Verbindungen für fortgeschrittene Halbleiteranwendungen konzipiert. ANGEWANDTE MATERIALIEN CENTURA DPS + hat eine hermetisch abgedichtete Kammer mit einem einzigartigen, ultrahohen Pumpgeschwindigkeitsdesign. Diese Kombination des Drucks, der Temperatur und der Kontrolle der kinetischen Energie bietet eine Niedrigtemperaturgasphasenabsetzungsplattform, die hoch conformal, Uniform und materielles Qualitätswachstum über große Bereiche unterstützt. Die Kammer wird von der Vakuumpumpe isoliert, wodurch eine Hauptverschmutzungsquelle beseitigt wird. Es ist auch in der Lage, einen höheren Durchsatz als konkurrierende Systeme aufgrund seiner größeren Substratgröße, bis zu 200mm im Durchmesser zu liefern. Die Reaktionskammer ist mit Optionen ausgestattet, um Materialien mit zwei Arten von Abscheidungsquellen abzuscheiden: erstens, Wafer-Duschkopf, der eine geneigte Duschkopfquelle ist, die senkrecht zum Substrat ausgerichtet ist, und zweitens eine traditionelle vertikale Duschkopfquelle. Darüber hinaus kann AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA DPS + modifiziert werden, um Vorläuferliefersysteme wie Blasen, Molekularstrahl-Epitaxie-Quellen und Gaskästen unterzubringen. CENTURA DPS + verfügt über ein intuitives Steuergerät, mit dem Benutzer mehrere Rezepte mit wenigen Klicks programmieren und komplexe Abscheideprozesse schnell implementieren können. Benutzer können auch einzelne Prozessschritte überwachen oder Analysen wie Reaktionsgeschwindigkeit oder Vorläuferausnutzung ausführen. Die robuste Automatisierungsschnittstelle des Systems lässt sich einfach in automatisierte Verarbeitungslinien integrieren und die offene Architektur ermöglicht individuelle Programmierbarkeit und Abstimmung. Kurz gesagt, AMAT CENTURA DPS + Reaktor ist eine extrem vielseitige, volumenstarke CVD-Einheit, die für die Abscheidung einer breiten Palette von Materialien mit überlegener Qualität und Zuverlässigkeit verwendet werden kann. Sein hermetisches Kammerdesign und seine vielseitigen Abscheidungsquellenkonfigurationen bieten Anwendern eine beispiellose Prozesskontrolle und Materialgleichförmigkeit über große Bereiche. Die intuitiven Funktionen der Steuerungsmaschine und Automatisierungsintegration machen es zu einer idealen Lösung für anspruchsvolle Verarbeitungsanforderungen.