Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9192739 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS ist ein fortschrittlicher Plasma-Trockenstreifenreaktor, der in den Ätzoperationen in der Halbleiter- und Mikroelektronikindustrie eingesetzt wird. Es ist eine Version der nächsten Generation des Centura Wafer Etch-Tools, die einen höheren Durchsatz und eine höhere Genauigkeit als der Vorgänger bietet. Das DPS eignet sich für eine breite Palette von Materialien, darunter Silizium, Polysilizium, Siliziumnitrid, Siliziumoxid und Aluminium. AMAT Centura DPS ist eine Hochleistungs-Trockenbandausrüstung mit hohem Durchsatz, die Präzisionsätzoperationen mit einem hohen Automatisierungsgrad durchführen kann. Das System verfügt über eine fortschrittliche Plasmatechnologie sowie eine Mehrgasmischkammer, um Schäden durch potenziell schädliche ionisierende Strahlungen zu minimieren. Das DPS unterstützt je nach verarbeitetem Material eine Reihe von Gasen, darunter Wasserstoff, Sauerstoff, Stickstoff und andere inerte Gase. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura DPS ist für schnelle und effiziente Ätzoperationen konzipiert. Es beginnt mit einem Vorbehandlungszyklus, bei dem ein dünner Oxidfilm für eine verbesserte Oxidoxidselektivität aufgebracht wird. Ein zweiter Zyklus dient zum Ätzen des Oxids auf die Zieltiefe. Die zahlreichen Merkmale von Centura DPS, wie seine kapazitiv gekoppelte Plasmaquelle (CCP) und sein schneller Strippvorgang, ermöglichen Ätzzeiten von weniger als 5 Sekunden. Dieser kurze Ätzzyklus führt zu einer verbesserten Produktivität und höheren Produktausbeuten. Das Gerät bietet auch eine Vielzahl von Prozesssteuerungsfunktionen. Dazu gehört eine Echtzeit-Überwachungsmaschine auf Basis der Wellenformanalyse, die eine präzise Steuerung des Ätzprozesses ermöglicht. Dies ermöglicht die automatische Erkennung und Korrektur möglicher Prozessprobleme und verbessert so die Zuverlässigkeit. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS ist ein ideales Werkzeug für Halbleiterhersteller auf der Suche nach einer präzisen Trockenbandverarbeitung. Mit seinen fortschrittlichen Steuerungssystemen, schnellen Zykluszeiten und verbesserten Erträgen im Vergleich zum vorherigen Centura Wafer Etch-Tool ist AMAT Centura DPS die perfekte Wahl für jeden Ätzvorgang.