Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9193142 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9193142
Poly R1 chamber
DTCU Type: R1 DTCU
Wafer type: SNNF
ESC Type: Polymide
Standard:
Throttle valve
Gate valve
Cathode: Single type
Turbo pump: LEYBOLD Mag 2000
Dual manometer: 627A / 625 A
Missing Parts:
Match box
H/V Module
Turbo controller.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS ist eine reaktive Ionenätz- (RIE) und Abscheideausrüstung, die bei der Herstellung von integrierten Schaltungen (ICs) und vielen anderen Arten von Halbleiterbauelementen verwendet wird. AMAT Centura DPS wurde entwickelt, um überlegene Leistung, Arbeitnehmersicherheit und Benutzerfreundlichkeit für die Hochvolumen-IC-Produktion zu bieten. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura DPS ist für die Abscheidung oder das Ätzen vieler Materialien konzipiert, die in der Halbleiterherstellung verwendet werden, von Metallen bis zu organischen. Es verwendet eine Kombination mehrerer Prozessgase, die in eine Prozesskammer eingespeist werden, um ein qualitativ hochwertiges Ätzen oder Abscheiden dieser Materialien zu erreichen. Zu den Prozessgasen gehören Sauerstoff, Stickstoff, Argon, Helium und/oder Chlorwasserstoff. Die Prozesskammer umfasst eine angetriebene obere Elektrode, einen beweglichen Substrattisch und eine Turbopumpe zur Evakuierung der Kammer. Zur Erzeugung der notwendigen Ionen zum Ätzen oder Abscheiden des Materials wird eine innerhalb der Kammer befindliche Plasmaquelle verwendet. Centura DPS ist in der Lage, gleichmäßige Ätz- und Abscheidungsergebnisse über die gesamte Oberfläche des Wafers zu liefern, unabhängig von seiner Größe. Es ist auch in der Lage, über einen weiten Bereich von Drücken, Temperaturen, Leistungsstufen und Taktzyklen zu arbeiten, um die gewünschten Ätz- oder Abscheidungsergebnisse zu erzielen. Darüber hinaus soll die Kammer dazu beitragen, die Umwelt sauber und sicher für die Arbeiter zu halten, da Gasdiffusion und Kontamination minimiert werden. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS setzt auch eine Reihe von Schutzmaßnahmen ein, um Arbeitnehmer vor gefährlichen Stoffen zu schützen. Sein mehrstufiges Verriegelungssystem trägt dazu bei, dass automatisierte Prozessrezepte innerhalb ihrer Parameter bleiben, wodurch das Risiko einer Produktkontamination und der Exposition der Arbeitnehmer gegenüber gefährlichen Stoffen minimiert wird. Das Gerät umfasst auch eine In-Chamber-Überwachungsmaschine, die mit Sensoren und Kamerasystemen Prozessdaten aufzeichnet und die Sicherheit der Arbeiter und Geräte gewährleistet. AMAT Centura DPS ist ein äußerst beliebtes und zuverlässiges Werkzeug für die IC-Produktion. Seine Fähigkeit, überlegene Ätz- und Abscheidungsergebnisse zu liefern, kombiniert mit seiner hohen Sicherheit macht es eine ideale Wahl für die Herstellung von hochwertigen integrierten Schaltungen.
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