Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS+ #9233290 zu verkaufen
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ID: 9233290
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2001
Poly etcher, 8"
Mainframe: Centura 2
Chamber A, B & C:
DTCU: ES-DTCU
Gate & throttle valve: TGV, VAT
EDWARDS STP-A2203 Turbo pump
Pumping tube: Heated
ADVANCED ENERGY Altas 2012 Generator (Source)
ENI ACG-6B Generator (Bias)
ESC: Ceramic
EPD: Normal
Chamber E: Fast cool down
Chamber F: Orieter
Xfer: VHP
L/L: Narrow, heated, tilt-out
Hoist: Local hoist
Gas panel:
Chamber A, B&C:
Gas / Size / Model
Cl2 / 200sccm / 8161
HBr / 200sccm / 8160
Cl2 / 50sccm / 8160
NF3 / 100sccm / 8161
N2 / 20sccm / 8161
CF4 / 50sccm / 8161
SF6 / 50sccm / 8161
O2 / 100sccm / 8161
He / 20sccm / 8161
Ar / 200sccm / 8160
Missing parts:
Process chamber chiller & hose
EPD PC & Monitor
Chamber D (ASP+):
Microwave generator missing
Tuner missing
Magnetron head
Dummy load
Wave guide gas panel parts
VDS
2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS + ist ein plasmaverbesserter chemischer Dampfabscheidungsreaktor (PECVD) für Abscheidungsprozesse. Es eignet sich für eine Vielzahl von Anwendungen, von fortgeschrittenen Thermokompressionsbindungen über fortschrittliche Metallisierungsschichten bis hin zum Wachstum unpolarer Dielektrika und Oxide. Das DPS + ist ideal für den kompletten Bereich der Abscheideoperationen - unabhängig von der Komplexität oder den Anforderungen der gewünschten Folienzusammensetzung. AMAT Centura DPS + verfügt über eine Zwei-Kanonen-Hardware-Konfiguration mit voller 7-Achsen-Bewegungssteuerung, wodurch die Position des Substrats und der Abscheidungsquelle präzise eingestellt werden kann. Die volle Bewegungssteuerung bietet Prozessflexibilität und ermöglicht hochpräzise Prozesse mit fortschrittlichen Steuerungsabläufen. Darüber hinaus ermöglicht die einfache Zugänglichkeit des Substrathalters ein schnelles Be- und Entladen von Substraten. Für zusätzlichen Komfort verfügt das DPS + über mehrere In-Situ- oder Near-Situ-Monitorprozesse, die die Prozessbedingungen überwachen, Feedback in Echtzeit liefern und Prozessoptimierungen durch On-the-Fly-Anpassungen ermöglichen. Diese Echtzeitüberwachung ermöglicht zudem ein hohes Situationsbewusstsein und sorgt dafür, dass alle Prozesse reibungslos und effizient ablaufen. Der Reaktor weist ferner eine einzigartige rechnergesteuerte Gasverteilungseinrichtung auf, die aus einer internen Trägergasversorgung, einem Gasstromregler und einer eingebetteten Gasgemischsteuerung besteht. Diese Einheit ermöglicht eine präzise Steuerung der Prozessbedingungen und sorgt für eine optimierte Gasförderung für jeden einzelnen Prozess. In Bezug auf die Sicherheit verwendet APPLIED MATERIALS CENTURA DPS + eine Vielzahl von Maßnahmen, um einen sicheren Betrieb zu gewährleisten, von einer robusten elektrischen Maschine über ein programmierbares Verriegelungswerkzeug bis hin zu einem unabhängig zertifizierten Notstoppgerät. Darüber hinaus verfügt der Reaktor über strenge Alarmanlagen, die alle Prozesse überwachen und die Betreiber über etwaige Prozessunregelmäßigkeiten informieren. AMAT CENTURA DPS + ist ein vielseitiger und zuverlässiger Reaktor, der eine Vielzahl von Anwendungsanforderungen bewältigen kann. Seine volle Bewegungssteuerung, erweiterte Überwachungsfunktionen und unabhängige Sicherheitssysteme geben ihm einen Vorteil gegenüber anderen Reaktoren auf dem Markt. Die Kontrollsysteme sorgen für eine präzise Kontrolle der Prozessbedingungen und geben Anwendern eine größere Kontrolle über den Abscheideprozess, was ihn zu einem wertvollen Werkzeug für die Qualitätskontrolle und -sicherung macht.
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