Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS+ #9249569 zu verkaufen

ID: 9249569
Poly etcher Load lock: Wide (3) Chambers DPS+ poly Robot: VHP+.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS + ist ein fortschrittlicher Plasmaätzreaktor, der sowohl tiefenanisotrope als auch flache isotrope Prozesse mit hoher Selektivität und minimaler Schädigung der darunter liegenden Schichten durchführt. Es ist mit einer automatisierten Fernbedienung ausgestattet, die den Betrieb schnell und effizient macht. Der Reaktor basiert auf der proprietären AMATSi (Advanced Materials Atomic Thickness Selection) -Ätztechnologie und enthält eine große Auswahl an Prozessgasen, um optimierte Ergebnisse für verschiedene Anwendungen zu liefern. Das einzigartige „Multi-Polster“ -Design erzeugt einen gleichmäßigen Druck entlang der gesamten Prozesskammer, der eine engmaschige Prozesskontrolle, verbesserte Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit sowie höhere Ertrags- und Kosteneinsparungen ermöglicht. AMAT Centura DPS + kann sowohl für die PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) als auch für die PEB (Plasma Enhanced Etching) -Verarbeitung konfiguriert werden. PECVD-Verarbeitung wird verwendet, um dünne Filme aus Metall und anderen Materialien auf einem Substrat wie einer Leiterplatte oder Silizium-Wafer wachsen. Durch die PEB-Verarbeitung werden diese Folien entfernt und die darunter liegenden Materialien wie Metall und Dielektrika geätzt. ANGEWANDTE MATERIALIEN CENTURA DPS + ist mehrstufig aufgebaut und kann Wafer bis zu 8 Zoll in einem Durchlauf verarbeiten. Die Reaktorkammer ist für kundenspezifische Gaszufuhrsysteme und Prozesssteuerungen ausgelegt, so dass Benutzer ihren Prozess genau an die Spezifikationen ihrer Anwendung anpassen können. AMAT CENTURA DPS + wird von einem fortschrittlichen Netzteil der zwölften Generation angetrieben, das eine höhere Plasmadichte und eine verbesserte Prozessgleichmäßigkeit im Ätzprozess ermöglicht. Das System ist auch mit einer fortschrittlichen Vakuumanlage zur schnellen Evakuierung von Prozessabfällen und organischen Arten ausgestattet. Darüber hinaus kann die Maschine verwendet werden, um den Prozess in Echtzeit zu überwachen und zu analysieren, so dass Benutzer alle notwendigen Anpassungen des Prozesses schnell und einfach vornehmen können. CENTURA DPS + ist ein leistungsstarkes und fortschrittliches Ätzreaktor-Tool, das überlegene Leistung und Wiederholbarkeit bietet. Das umfassende Design und die fortschrittlichen Funktionen machen dies zu einer kostengünstigen Lösung für Ätzanwendungen in einer Reihe von Branchen.
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