Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9255765 zu verkaufen
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ID: 9255765
Wafergröße: 12"
System, 12"
(4) Chambers (With pumps)
(2) Wafer transfer modules
Front end
Electronics cabinet
Etch clean AC rack.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS Reactor ist eine fortschrittliche Halbleiterverarbeitungsanlage, die eine kosteneffiziente und zuverlässige Produktion von Next-Gen-Halbleiterprodukten ermöglicht. Es verfügt über eine Vakuumkammer, einen universellen Substrattisch, ein Frontend-Kassettenlastschloss, einen automatisierten Lastanschluss und programmierbare Bewegungsregler, die alle entworfen wurden, um die Produktion zu rationalisieren und die Benutzerzeit zu minimieren. AMAT Centura DPS eliminiert die manuelle Beladung von Wafern und Substraten und reduziert damit die Exposition und den Umgang mit gefährlichen Chemikalien, die traditionell in Halbleiterprozessen enthalten sind. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura DPS ist mit einem einzigartigen, 3-achsigen Wafer-Transferroboter konfiguriert, der eine präzise Positionierung von Substraten und Komponenten innerhalb der aktiven Kammer ermöglicht und maximale Betriebszeiten ermöglicht. Neben den In-situ-Prozesskammern umfasst das System entfernte Prozesskammern zur Vor-/Nachbehandlung von Substraten. Die integrierte Prozesssteuerung ermöglicht eine nahezu Echtzeit-Rückkopplung, wodurch präzise Verarbeitungsparameter gewonnen und genau gewartet werden können. Centura DPS ist mit einer hochauflösenden Projektions-Relativmessmaschine ausgestattet, die Prozessgenauigkeit und Wiederholbarkeit über mehrere Läufe gewährleistet. Dieses ausgeklügelte Bildgebungswerkzeug bietet außerdem eine schichtweise Darstellung der Merkmalseigenschaften, um präzise Prozessbedingungen und -ergebnisse zu überprüfen. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS Reactor ist für mehrere Prozessmodi geeignet, einschließlich Trocken- und Nassätzen. Neben dem Ätzen kann das Asset auch für Abscheide- und Peeling-Anwendungen verwendet werden. AMAT Centura DPS ist mit wartungsfreundlichen Funktionen wie intelligenten Ventilen mit schnellen Trennfunktionen konzipiert, die eine einfachere Wartung und kürzere Ausfallzeiten ermöglichen. Der Reaktor kann mit einer Vielzahl von Kammergrößen konfiguriert werden und bietet Flexibilität, um die spezifischen Anforderungen jeder Anwendung zu erfüllen. Die kompakte Größe von APPLIED MATERIALS Centura DPS Reactor ermöglicht es ihm, qualitativ hochwertige Leistung auf engem Raum zu liefern, was den Herstellern Möglichkeiten bietet, Systeme zu betreiben, bei denen Platz auf einem Premium-Niveau ist. Dieses robuste und zuverlässige Modell bietet hohe Erträge und gleichbleibende Qualität der Fertigung, so dass Unternehmen ihre wettbewerbsfähigen Spezifikationen maximieren können.
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