Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9258527 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS
ID: 9258527
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Etcher, 12" 2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS (Direct Plasma Source) ist ein vielseitiger Einzelwaferreaktor, der eine zuverlässige und wiederholbare Plasmaumgebung für kritische Filmabscheidungsprozesse bietet. Das Einzelwafer-Design macht manuelle Übertragungen überflüssig, was schnelle und effiziente Produktionsraten ermöglicht. Die Reaktionskammer wurde entwickelt, um die Prozesskontrolle zu verbessern und die Gleichmäßigkeit der Folien zu erhöhen, wodurch Anwender die höchste Leistung über eine Vielzahl von Abscheidungsprozessen, einschließlich einzelner Wafer-Epitaxie- und CVD-Prozesse, dielektrischer Zwischenschichtabscheidung und Metallisierungsprozesse, erzielen können. AMAT Centura DPS bietet eine Reihe von Funktionen und Vorteilen, beginnend mit einem fortschrittlichen, hocheffizienten HF-Generator, der eine stabile Plasmaumgebung mit minimalen Verunreinigungen bietet. Das Gerät verwendet eine ausgeklügelte automatisierte Steuerungssoftware, um flexible und effiziente Operationen zu ermöglichen, sodass Benutzer Rezepte erstellen und aktualisieren können, und unterstützt sogar die Möglichkeit des direkten Rezepttransfers zwischen Systemen. Darüber hinaus hat APPLIED MATERIALS Centura DPS ein eingebautes Gas- und Flüssigkeitszufuhrsystem für eine bequeme Gasspülung und Flüssigkeitskühlung. Die Konstruktion des Geräts ermöglicht auch eine Verarbeitung mit hoher Dichte und enger Toleranz mit engen Prozessfenstern und Wiederholbarkeit der Prozesse über längere Zeiträume. Die Maschine umfasst auch eine integrierte Fadenreinigungsstation für eine reduzierte Wartung und erhöhte Betriebszeit. Es verfügt über eine Hochdruckduschschnittstelle zur effizienten Verarbeitung von dicken Folien und verwendet ein eingebettetes Diagnosetool zur automatisierten Fehlererkennung und Rückkopplung. Schließlich verfügt die Anlage über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, wie ein Notabschaltmodell und ein Notentlüftungsventil, um einen sicheren und zuverlässigen Betrieb zu gewährleisten. Abschließend ist Centura DPS ein branchenführender Einzelwaferreaktor, der den anspruchsvollen Anforderungen fortschrittlicher Fertigungsprozesse gerecht wird. Mit seinem eingebauten HF-Generator, automatisierter Software, hochdichtem Design, integrierter Gas- und Flüssigkeitszufuhr, eingebetteter Fehlererkennung und Sicherheitsfunktionen ist die Ausrüstung so konzipiert, dass sie eine zuverlässige und wiederholbare Verarbeitung mit minimalen Ausfallzeiten ermöglicht.
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