Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9296970 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS (Dual Process Solutions) ist ein in der Halbleiterindustrie üblicher Zweiprozessreaktor. Es bietet einen automatisierten Chargenprozess aus einer Hand, der eine hervorragende Temperatur- und Druckregelung mit verbessertem Durchsatz und größerer Prozesswiederholbarkeit bietet. Dadurch eignet sich der DPS-Reaktor für eine Vielzahl fortschrittlicher Halbleiteranwendungen. AMAT Centura DPS verfügt über zwei Prozessmodule, mit denen Benutzer die Wiederholbarkeit von Wafer zu Wafer wiederherstellen können, selbst wenn sie mehrere Schritte in derselben Prozesskammer ausführen. Jedes Prozessmodul enthält zwei obere und untere Heizplatten, die Temperaturen bis zu 1500 ° C erreichen können, und zwei Niederdruck-HF-Quellen, die Leistungen bis zu 200KW unterstützen. Darüber hinaus ist der DPS-Reaktor mit einem fortschrittlichen PID (Proportional-Integral-Derivate) -Regler und einer Software ausgestattet, die eine genaue Temperaturregelung ermöglicht, die eine einheitliche, konsistente Prozessleistung ermöglicht. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura DPS ist auf Flexibilität ausgelegt, mit verschiedenen Komponenten für unterschiedliche Verarbeitungsanwendungen. Es kann individuell für Ätz-, Abscheide- und Streifenprozesse konfiguriert werden. Der Reaktor bietet auch hochauflösende Druck- und Temperaturmessungen mit einem fortschrittlichen Controller, der eine erstklassige Reflow-Steuerung bietet. Centura DPS ist auch sehr langlebig und sicher, bietet eine versiegelte Umgebung unter Beibehaltung der notwendigen Temperaturen und Drücke, und bietet überlegene thermische Gleichmäßigkeit und schnelle Zykluszeiten. Darüber hinaus verfügt es über hervorragende Temperatur- und Drucküberwachungsfunktionen, automatische Temperatur- und Druckalarme sowie eine benutzerfreundliche Schnittstelle. Insgesamt ist AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS eine gute Wahl für Anwender, die die Produktivität maximieren und jederzeit die höchste Prozessqualität erhalten möchten. Sein einfach zu bedienendes, zuverlässiges und funktionsreiches Design macht es zu einer idealen Passform für Halbleiter- und fortschrittliche Verpackungsindustrie.
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