Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9314928 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS ist eine prozessorientierte schnelle thermische Reaktionsausrüstung, die für eine Vielzahl von Anwendungen wie Aluminiumoxidabscheidung, amorphe Siliziumabscheidung und andere Halbleiterprozesse verwendet wird. Sie weist eine horizontal ausgerichtete U-förmige Reaktorkammer mit Waferträger im Inneren auf. Die Reaktorkammer ist auf ein programmierbares Strahlungsheizsystem angewiesen, um die Temperatur präzise zu steuern und einen präzisen und gleichmäßigen Wärmeenergiefluss über die Waferoberfläche zu ermöglichen. Die elektrische Einheit ist in eine Prozesssteuerungsbox integriert, mit der Benutzer Parameter wie Zeit, Temperatur und Sauerstoffdruck einfach überwachen und einstellen können. Die Maschine wurde entwickelt, um überlegene Ergebnisse in Bezug auf die Verarbeitung von nicht-invasiven thermischen Reaktionen bei niedrigen Temperaturen zu liefern. Seine proprietäre diffuse Reflektortechnologie ermöglicht ein homogenes Temperaturprofil auf der Waferoberfläche, wodurch Abscheidungen bei Temperaturen bis zu 300 ° C ausgeführt werden können, was es für empfindliche Substrate wie GaAs und SiGe äußerst sicher macht. Diese Tieftemperaturverarbeitung eignet sich ideal zum Wachsen und Aufrechterhalten der Schichtgleichförmigkeit für integrierte Schaltungen. Darüber hinaus verfügt das Tool über eine integrierte optische Komponente zur Überwachung des Wärmeabscheidungsprozesses, mit der Anwender Abscheidungsunregelmäßigkeiten schnell erkennen können. AMAT Centura DPS Reaktor ist in der Lage, schnelle thermische Prozeßzykluszeiten bis zu 15 Sekunden mit Wiederholbarkeit und Stabilität im Nanometerbereich durchzuführen. Die patentierte einheitliche Wärmeverteilungstechnologie bietet eine hervorragende Präzision und Wiederholbarkeit für eine Vielzahl von Prozessen und bietet hervorragende Ergebnisse für empfindliche Systeme. Das Modell enthält außerdem eine Reihe von Verfahrensvalidierungen und Tools für den technischen Support, um die Ergebnisse qualitativ hochwertiger Prozesse sicherzustellen. ANGEWANDTE MATERIALIEN Der DPS-Reaktor Centura ist eine ideale Wahl für Herstellungsverfahren von Halbleiterbauelementen und bietet überlegene Ergebnisse in Bezug auf die Niedertemperaturabscheidung unter Wahrung der höchsten Konsistenz und Genauigkeit. Seine niedrigen Temperaturverarbeitungsfunktionen ermöglichen es Herstellern, komplexe Prozesse durchzuführen und gleichzeitig empfindliche Substrate zu schützen, während seine Überwachungs- und Steuerungsfunktionen es Anwendern ermöglichen, Unregelmäßigkeiten schnell und einfach zu erkennen und anzupassen.