Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS+ #9395287 zu verkaufen
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ID: 9395287
Wafergröße: 6"
Poly etcher, 6"
Mainframe:
Position A, B: DPS Plus poly
Position F: Orienter
Front panel: Anti-static painted
Signal light tower: 3 Color (R, A, G)
Type: AC Rack
Type: EMO Switch
EMO Guard ring
Flow sensor chamber:
Wall
Cathode
Turbo pump 4
DPS
Type: Wide body loadlock
Slit valve: O-Ring type (viton)
Wafer mapping: Enhanced (fast)
Type: HP and robot
Robot blade option
Wafer on blade detector: Basic
Vent filter: Ceramic
Heater
Loadlock vent: Top
Orienter chamber:
Type: Hoop
DTCU: ES
Voltage distributor
Mount ring
Lower chamber cover: STD
Type: Lip seal
EDWARDS TMP
Pressure gauge: CM 100 Mt (MKS)
Pressure gauge: CM 10 Torr (MKS)
ESC HV Module P/N: 0010-30139
BIAS RF Matcher P/N: 0010-00854
Source RF Matcher: Install
HE Pressure controller
Type: MKS649A (50 SCCM)
ATLAS 2012 Source RF Generator
ACG-6B RF Generator (BIAS)
Throttling Gate Valve (TGV)
EDWARDS TMP Etcher pump pipe line
With heater
Cathode assy type: HE Single supply
Upper chamber: Full A-coat
Ceramic dome P/N: 0200-39137
Gas panel:
MFC Type: AERA FC-D980C
Position / Gas / MFC Size
Gas 1, 11 / CL2 / 200 SCCM
Gas 2, 12 / HBR / 200 SCCM
Gas 6, 16 / CF4 / 200 SCCM
Gas 7, 17 / CHF3 / 100 SCCM
Gas 8, 18 / O2 / 100 SCCM
Gas 9, 19 / SF6 / 100 SCCM
Gas 10, 20 / AR / 200 SCCM
Gas panel facilities:
BD Side
SLD Box bottom feed
AC Chamber TOP side
VMEII Gas panel controller
VERIFLO Valve
MKS 872 Transducer
VERIFLO SQ2 Regulator
MILIPORE Filter
Transducer display per stick
CRT Endpoint monitor
Rack mount
Type: (2) Monochromators
Type: V452 SBC Controller
Umbilicles: 40 Feet base
Mainframe umbilical: 40 ft
AC Mainframe umbilical: 40 ft
Chiller control cable length: 40 ft
Chiller hose length: 50 ft
Pump signal cable length: 50 ft
RF RACK To MF Cable length: 75 ft
Type: SMC H2000 Chiller
Cathode (chamber A, B): SMC H2000
Wall (chamber A, B): SMC H2000
Dome (chamber A, B): Facility cooling water
Coolant Type: DI and EG
(2) Chiller power lines (Tool C/B Chiller)
Type: (4) Chiller hoses (50 Ft)
Signal I/O
EBARA AA40W / AA10
(4) Pump interfaces
(4) Pump power lines (Tool C/B Pump)
M/F Utility connection: Rear side
UPS
Lamp CB: 20 A
RF Generator CB: (B)15 A / (S)30 A
Pump CB: 30 A
CRT Monitor
Type: DTCU Hoist
Power supply: 200 - 208 VAC, 60 Hz, 100 mA.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS ist eine leistungsstarke integrierte Ausrüstung für plasmabasierte industrielle Fertigungsanwendungen. Es ist für die Produktion von Halbleiterbauelementen wie fortschrittlichen Technologieknoten, Flachbildschirmen, Computerspeicherchips und Mikroprozessoren konzipiert. Das System verfügt über einen Inline-Antrieb mit einer 6-Zonen-Ladelösung und mehreren intelligenten Endeffektoren, die eine genaue und wiederholbare Produktplatzierung ermöglichen. Der Reaktor ist in der Lage, bis zu 25 Wafer parallel mit wiederholbaren und wiederholbaren Ergebnissen zu verarbeiten. Das Gerät umfasst eine automatisierte Rezeptsteuerung mit Echtzeit-Rezeptgenerierungsoptionen, erweiterten Sicherheitsfunktionen und proprietärer Hardware, die eine nahezu grenzenlose Flexibilität bei der Anpassung der Verarbeitungsparameter ermöglicht. Auf diese Weise kann das Werkzeug leicht an sich ändernde Produktionsanforderungen wie neue Produktdesigns oder Prozessänderungen angepasst werden. AMAT Centura DPS kann eine Vielzahl fortschrittlicher Materialien und Substrate verarbeiten, darunter reines Einkristall-Silizium, Metalle und Polymere. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von Abscheidungs- und Ätzprozessen wie Atomschicht, Elektronenstrahl und Ionenstrahlverarbeitung zu liefern. Die Anlage verfügt auch über erweiterte Analyse- und Überwachungsfunktionen, die eine hohe Präzision und Wiederholbarkeit bei Abscheide- und Ätzprozessen ermöglichen und hohe Erträge und eine verbesserte Qualität im Produktionsprozess ermöglichen. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura DPS wurde entwickelt, um den neuesten fortschrittlichen Prozessschritten gerecht zu werden und ist kompatibel mit fortschrittlichen Prozessautomatisierungstools und -technologien wie Auto-Alignment, Auto-Tweaking und Machine Vision. Dies ermöglicht eine schnellere und effizientere Verarbeitung bei höchster Qualität und Genauigkeit. Die Maschine verfügt über keine beweglichen Teile, so dass sie 24 x 7 betreiben, Ressourcen optimieren und Ausfallzeiten auf ein Minimum reduzieren kann. Das DPS-Modell Centura entspricht den EU-Sicherheits-, Berichts- und Umweltstandards und ist somit eine ideale Wahl für industrielle Umgebungen. Neben den robusten, leistungsstarken Verarbeitungsvorteilen ist AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS auch einfach zu bedienen und zu warten. Es verfügt über eine benutzerfreundliche Oberfläche, Schulungen für das Personal vor Ort und Unterstützung bei der Fehlerbehebung in Echtzeit macht es zu einem der zuverlässigsten, kostengünstigsten Produktionswerkzeuge auf dem Markt.
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