Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DxZ #114611 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 114611
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1997
SACVD BPSG system, 8"
4 channel
SMIF (Jenoptik)
Wide body load locks
Manual lid hoist
HP Robot
CH A, B, C, D – SACVD DxZ
Aluminum heater
Direct drive throttle valve
PLIS (Doped)
AE RFG 2000-2V
Gasses (STEC MFCs)
O2 3 SLM
NF3 100 sccm
C2F6 1 SLM
O-zone 10 SLM
N2 5 SLM
He 3 SLM
TEOS
TEB
TEPO
Seriplex Gas Control
CH E – Multi slot cool down
Bottom feed exhaust
Facilities bottom feed
OTF Centerfind
Synergy 452
Radisys AMAT 486
1997 vintage
As-is, where-is.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DxZ Reactor ist ein Mehrzonen-Dünnschichtabscheidungsgerät, das zur Herstellung fortschrittlicher integrierter Halbleiterschaltungen verwendet wird. Der Reaktor ist für die Verarbeitung von Wafern mit hohem Durchsatz, Prozessflexibilität und hoher Präzision ausgelegt. Der Reaktor nutzt vier elektrisch unabhängige Zonen, um eine hervorragende Systemleistung zu bieten und die Flexibilität des Waferprozesses zu ermöglichen. Jede der vier Zonen enthält ein hochtemperaturinduktiv gekoppeltes Plasma (ICP) aus der ICP-Plasmaquelle. Die ICP-Quelle ermöglicht es dem Reaktor, bei Substrattemperaturen bis 1000 ° C zu arbeiten, was die Verarbeitung von Hochtemperaturmetallen und -legierungen ermöglicht. Darüber hinaus ermöglicht die Vier-Zonen-Architektur die Implementierung mehrerer Prozessrezepte auf einem einzigen Wafer. Beispielsweise könnte ein einzelner Wafer vier verschiedene Schichten unterschiedlicher Materialien aufweisen, die alle im gleichen Reaktor verarbeitet werden. Der AMAT Centura DxZ Reaktor verfügt über eine Wafer-Transporteinheit mit einem Hochgeschwindigkeits-Roboterarm. Diese Maschine bietet überlegenen Durchsatz, Präzision und Verfügbarkeit und ermöglicht es dem Reaktor, bis zu 180 Wafer pro Stunde zu verarbeiten. Der Reaktor verfügt auch über eine komplette Reihe von Prozessüberwachungs- und Steuerungssystemen, einschließlich Software-Steuerung, Datenprotokollierung und Grafikanzeigen. Die Software ermöglicht es Benutzern, die Leistung des Reaktors während des gesamten Prozesses zu steuern, zu überwachen und zu optimieren. Der Reaktor ist für außergewöhnliche Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit gebaut. Das Werkzeug wurde entwickelt, um strenge Sicherheits- und Umweltstandards mit einer hohen Toleranz gegenüber Verunreinigungen zu erfüllen. Zusätzlich nutzt der Reaktor eine Qualitätskontrolle, um sicherzustellen, dass der Prozess zuverlässig wiederholbar und reproduzierbar ist. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura DxZ ist einer der fortschrittlichsten Dünnschichtabscheidungsreaktoren auf dem Markt und ermöglicht eine schnelle Entwicklung und kostengünstige Herstellung modernster Halbleiterbauelemente. Mit seinem überlegenen Durchsatz, seiner Flexibilität, Zuverlässigkeit und Genauigkeit ist Centura DxZ Reactor die richtige Lösung für Hersteller in der Halbleiterindustrie.
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