Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DxZ #138375 zu verkaufen

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ID: 138375
CVD system (3) DxZ chambers.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DxZ ist eine Reaktorausrüstung für die Serienfertigung von Wafern für die Halbleiterherstellung. Das System besteht aus einer Prozesskammer, Heiz- und Kühlsystemen, Gasfördersystemen und elektrischen Stromversorgungen. Die Prozesskammer ist eine Edelstahl, vakuumdichte Umgebung, die mit den externen Heiz- und Kühlquellen durch keramische Dichtungen verbunden ist. Diese Kammer ist mit Waferhaltern zur genauen Ausrichtung von bis zu sechs Wafern gleichzeitig ausgestattet. Das Innere der Kammer wird durch direkte Gasheizung erwärmt und entweder durch eine kalte Wand oder flüssige Heliumwärmetauscher gekühlt. Die Gaszufuhr erfolgt durch ein automatisiertes Steuerventil, um eine präzise Prozesssteuerung und Sequenzierung zu gewährleisten. Eine Vakuumeinheit hält die Kammer auf einem entsprechenden Betriebsdruck und hält eine saubere Atmosphäre während der Verarbeitung. Zusätzlich ist die Maschine mit einem Lastschließwerkzeug ausgestattet, um einen effizienten Stoffaustausch von Wafern aus und in die Prozesskammer zu ermöglichen. Eine Vielzahl von Stromversorgungen werden in der Anlage verwendet, einschließlich DC, HF und Mikrowellenquellen. AMAT Centura DxZ ist nach höchsten Standards konstruiert und bietet eine sichere und zuverlässige Lösung für die Produktion von hochwertigen Wafern. Es bietet eine präzise Temperaturregelung, schnelles thermisches Cycling, ausreichend Platz für mehrere Wafer, programmierbare Gaszufuhr und ist skalierbar für eine breite Palette von Produktvolumina. Das Modell kann auch konfiguriert werden, um die Kundenanforderungen zu erfüllen, mit einer Vielzahl von Optionen zur Verfügung, um die spezifischen Bedürfnisse eines Kunden zu bedienen. In Kombination mit fortschrittlichen Hardware- und Softwarelösungen von AMAT bietet APPLIED MATERIALS Centura DxZ eine optimale Prozesslösung für die Halbleiterherstellung.
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