Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DxZ #9096727 zu verkaufen

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ID: 9096727
Wafergröße: 8"
SACVD / PECVD System, 8" Process:PE Silane (2) Chambers Top mount RPS Narrowbody loadlocks HP robot OTF Seriplex gas panel, 2 chambers Position A : DxZ PE Silane Position C: DxZ SACVD, Top mount RPS Position E: MSCD Position F: Orienter AX8200A ozone generator rack Neslab HX-300 chiller AMAT 0 heat exchanger.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DxZ Reaktor ist eine hochmoderne Abscheideanlage, die physikalische Dampfabscheidung (PVD), chemische Dampfabscheidung (CVD) und Ätzausrüstung in einer Maschine kombiniert. Dieser Reaktor nutzt eine voll konfigurierbare Zweizonen-Kammerkonstruktion, die verschiedene Prozessvarianten für die Herstellung fortschrittlicher Geräte ermöglicht. Das DxZ hat die Fähigkeit, jede Art von Probe oder Substrat, wie Siliziumscheiben und Quarzschieber, mit einem Durchmesser von bis zu 4 "und einer maximalen Probengröße von 8x8 Zoll zu verarbeiten. AMAT Centura DxZ Reaktorsystem wurde entwickelt, um hochpräzise Prozesssteuerung mit fortschrittlicher Software zu ermöglichen, die die Wiederholbarkeit und Anpassung verschiedener Prozessparameter ermöglicht. Diese Ausrüstung wurde speziell entwickelt, um eine Vielzahl von Abscheidungs-, Ätz- und CVD-Prozessen wie Atomic Layer Deposition (ALD), Sputtern, Glühen, Ätzen und plasmaunterstütztes Ätzen zu bewältigen. Beispielsweise können Temperaturregime und Vakuumniveau der Reaktionskammer zur Optimierung der jeweiligen Anwendung eingestellt werden. Darüber hinaus bietet der APPLIED MATERIALS Centura DxZ Reaktor eine weitere Steuerung durch seine integrierte elektro-thermische Drosselungstechnologie (ETT) und eine vollautomatisierte Substratverarbeitungseinheit. Damit ist sie eine perfekte Wahl für Lithographie und Dünnschichtwachstum sowie eine ideale Grundlage für die industrielle Produktion und Erforschung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente. Darüber hinaus kann der Centura DxZ-Reaktor durch die Nutzung der neuesten Technologien in der Vakuumverarbeitung und der integrierten Echtzeitüberwachung problemlos zwischen verschiedenen Abscheide- und Ätzprozessen wechseln. Dies bietet eine große Vielseitigkeit für die Anwendung eines breiten Spektrums anspruchsvoller Prozesse wie der automatischen Abscheidung oder UHV-Prozesse. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DxZ Reaktor ist eine hochmoderne Maschine für fortschrittliche industrielle und akademische Forschung. Es vereint die hohe Prozesskontrolle und erweiterte Kompatibilität mit verschiedenen Probengrößen und Substratmaterialien und ermöglicht große Kreativität und Innovation bei der Geräteherstellung. Es ist eine leistungsstarke und vielseitige Maschine für Entwickler, Forscher und Ingenieure, um ihre Forschungsergebnisse zu maximieren.
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