Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DxZ #9184346 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9184346
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1997
CVD System, 8"
Mainframe information: Phase 2
Robot type: HP
LoadLock type: NBLL
SMIF: X
Process chambers:
Chamber A
Chamber B
Chamber C
Chamber D
Cooldown chamber:
Chamber E: MSCD
Orient chamber:
Chamber F: X
(4) Process chambers
Process: CVD
Application: DXZ
System controller: UPS
Generator:
Chamber A: RFG 2000-2V
Chamber B: RFG 2000-2V
Chamber C: RFG 2000-2V
Chamber D: RFG 2000-2V
Bottom module:
Chamber A: 0090-01805
Chamber B: 0090-01805
Chamber C: 0090-01805
Chamber D: 0090-01805
Heater lift:
Chamber A: 0010-38426
Chamber B: 0010-38426
Chamber C: 0010-38426
Chamber D: 0010-38426
Baratron: Model Torr
Chamber A 626A11TBE 10Torr
Chamber B 626A11TBE 10Torr
Chamber C 626A11TBE 10Torr
Chamber D 626A11TBE 10Torr
Baratron: Model Torr
Chamber A 122BA-00100EBS 100Torr
Chamber B 122BA-00100EBS 100Torr
Chamber C 122BA-00100EBS 100Torr
Chamber D 122BA-00100EBS 100Torr
Gas control : SERIFLEX TYPE
Gas panel:
Chamber A:
LINE1 SiH4 500sccm
UNE2 NH3 500sccm
LINE3 N2 5SLM
LINE4 SiH4 200sccm
LINE7 H2 5SLM
LINE8 N20 1SLM
LINE9 CF4 3 SIM
SIDE N20 500sccm
Chamber B:
LINE1 X
LINE2 NH3 500sccm
LINE3 N2 5SLM
LINE4 SiH4 200sccm
LINE7 H2 7SLM
LINE8 N20 1SLM
LINE9 CF4 3 SLM
SIDE N20 500sccm
Chamber C:
LINE1 X
LINE2 NH3 500sccm
LINE3 N2 5SLM
LINE4 SiH4 300sccm
LINE7 H2 7SLM
LINE8 N20 1SLM
LINE9 CF4 3SLM
SIDE N20 500sccm
Chamber D:
LINE1 N20 3SLM
LINE2 NH3 500sccm
LINE3 N2 5SLM
LINE4 SiH4 300sccm
LINE7 H2 7SLM
LINE8 N20 1SLM
LINE9 CF4 3 SIM
SIDE N20 500sccm
Packing list:
Mainframe
AC Remote rack
Generator rack
(2) Part boxes
Power: 208VAC
1997 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DxZ ist ein entsprechend entwickelter Reaktor mit fortschrittlicher Materialtechnik und Prozessfähigkeit. Dieser Reaktor kann für eine Vielzahl von Verfahren wie Abscheiden, Ätzen und Wärmeglühen verwendet werden und wurde speziell auf die Anforderungen einer Vielzahl von Anwendungen ausgelegt. AMAT Centura DxZ Reaktor hat eine effiziente und stabile Konstruktion, die in der Lage ist, einen hohen Prozessdurchsatz und Wiederholbarkeit zu erreichen. Dies wird durch die Kombination aus hoher Stabilität und Genauigkeit, hochwertigen und langlebigen Komponenten und einem robusten, flexiblen Kammerdesign erreicht, das auf die Kundenbedürfnisse zugeschnitten ist. Dies macht APPLIED MATERIALS Centura DxZ Reaktor eine bevorzugte Wahl für viele Branchen, wenn hohe Prozessergebnisse erforderlich sind. Centura DxZ Reaktor ist mit einer erweiterten Vakuumkammer ausgestattet, die eine hohe Wiederholbarkeit und Tieftemperatur-Backen für Hochleistungsprozesse ermöglicht. Die Kammer kann für eine Vielzahl spezifischer Anwendungsfälle von Beschichtung und Maskierung bis hin zum Ätzen oder Abscheiden ausgebildet sein. Diese Verfahrensvielfalt ermöglicht ein breiteres Spektrum an Substratzusammensetzungen und -temperaturen und ermöglicht den Einsatz des Reaktors für eine Vielzahl von Anwendungen, wodurch der Bedarf an mehreren Reaktoren entfällt. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DxZ kommt auch mit einer automatisierten adaptiven Steuerung, die mit dem Reaktor arbeitet, um maximale Präzision, Wiederholbarkeit und Durchsatz zu gewährleisten, bei gleichzeitiger Reduzierung der Benutzereingriffe. Dieses System hilft auch dabei, Ausschusszeiten zu reduzieren und Zykluszeiten zu verbessern, während Diagnose- und Prozesskontrolltools bereitgestellt werden, die eine Optimierung der Remote-Performance und eine Optimierung der Zykluszeit ermöglichen. Die Positionierung des Wafers auf der AMAT Centura DxZ wird auch durch den automatischen Zentrier- und Spannmechanismus erleichtert, der eine präzise Platzierung und Ausrichtung ohne manuelle Unterstützung ermöglicht. Darüber hinaus verfügt der Reaktor über einen Temperatur-Gleichmäßigkeitssensor, der eine Echtzeit-Temperaturregelung während der Prozesse ermöglicht und eine homogene Temperatur während des gesamten Prozesses gewährleistet. Insgesamt ist der Centura DxZ-Reaktor von APPLIED MATERIALS auf Flexibilität und Zuverlässigkeit ausgelegt und kann anspruchsvollen Prozessanforderungen in einer Vielzahl von Anwendungen gerecht werden. Der Reaktor ist präzisionsgesteuert, effizient und langlebig und trägt dazu bei, die Zykluszeiten deutlich zu verringern und die Leistung zu erhöhen, während der Bedarf an mehreren Reaktoren und manuellen Eingriffen reduziert wird.
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