Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+ #293624199 zu verkaufen
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ID: 293624199
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Etcher, 12"
EFEM
TM Module
AC Rack
Generator rack
2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura eMax CT + ist ein Hochdurchsatzreaktor, der gleichmäßige und wiederholbare Ergebnisse bei niedrigen Herstellungskosten liefern kann. Es ist für die Abscheidungsleistung von Hochtemperaturfilmen, Oxiden, Nitriden, Nitrosyl und Polymeren ausgelegt. Der Reaktor besteht je nach Konfiguration aus 2-5 Prozesstaschen und verfügt über eine Fokus-Ionenstrahl (FIB) -Quelle und E-Strahl-Pistole für sekundäre Prozesse. AMAT Centura eMax CT + wird mit einer fortschrittlichen thermischen Ergussquelle hergestellt. Hierdurch wird die sehr gleichmäßige Abscheidung von Folien über große Scheibengrößen mit außergewöhnlicher Wafer-zu-Wafer-Wiederholbarkeit erreicht. Der eMax CT + ermöglicht auch variable Vakuumdrücke und Temperatureinstellungen, die eine präzise Kontrolle der Abscheideraten, Dicken und Stöchiometrien der Folien ermöglichen. Diese Prozesssteuerung kann mit dem universellen Prozessmodul, das standardmäßig im Reaktor enthalten ist, weiter optimiert werden. ANGEWANDTE MATERIALIEN CENTURA E-MAX CT + enthält eine leistungsstarke FIB-Quelle, die eine präzise Manipulation der Materialoberfläche unter dem Mikroskop ermöglicht. Mit dieser Quelle kann eine erweiterte Musterverarbeitung mit hoher Genauigkeit erfolgen. Darüber hinaus ermöglicht die E-Beam-Pistole eine nanoskalige Steuerung von Folienprozessen. Die fortschrittliche Technologie des Reaktors kann verwendet werden, um eine Reihe von Substraten in der Produktionsstufenverarbeitung schnell zu verarbeiten. Es ist in der Lage, Wafer-Verarbeitung mit hohem Durchsatz mit einheitlichen und wiederholbaren Ergebnissen. AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA E-MAX CT + ist auf zuverlässige Waferqualität, optimale Wiederholbarkeit und Zuverlässigkeit sowie niedrige Betriebskosten während des gesamten Prozesses ausgelegt.
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