Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+ #9293616 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura eMax CT + Reactor ist ein Wafer-Fertigungssystem, das verwendet wird, um Halbleiterscheiben mittels Chemical Vapor Deposition (CVD) zu ätzen. Der Reaktor hat einen kleinen, modularen Aufbau, so dass er gut für die Reinraumumgebung geeignet ist und alle Arten von Materialien ätzen kann. AMAT Centura eMax CT + bietet ein hohes Maß an Präzision und Kontrolle und ermöglicht es, Materialien bis auf atomares Niveau genau zu ätzen. Das System weist eine Abscheidekammer, ein Reaktantenliefermodul und einen Roboterarm auf. Die Abscheidekammer beherbergt den Wafer und der Roboterarm wird verwendet, um den Wafer beim Ätzen kontinuierlich zu bewegen. Das Reaktandenausgabemodul ist dort, wo die Reaktanten in die Abscheidekammer eingebracht werden können. Bei den Reaktionspartnern handelt es sich in der Regel um Gase wie Silan, Ammoniak und Acetylen, wobei die Einbringgeschwindigkeit durch einen Massenstromregler (MFC) gesteuert wird. Das MFC sorgt dafür, dass die Reaktanden sicher und gleichmäßig in die Kammer eingebracht werden, wodurch unerwünschte Reaktionen vermieden werden. In der Abscheidekammer befindet sich auch eine speziell entwickelte Elektrodenanordnung zur Durchführung plasmaverbesserter CVD-Prozesse. Diese Baugruppe besteht aus einer unteren Elektrode, die mit dem Reaktorkörper verbunden ist, und einem vertikalen Spinnplasmastrahl, der für die Erzeugung des Plasmas verantwortlich ist. Der Plasmastrahl sorgt dafür, dass die Reaktanten in kleinere Moleküle zerlegt und anschließend auf die Oberfläche des Wafers abgeschieden werden. ANGEWANDTE MATERIALIEN CENTURA E-MAX CT + ist in der Lage, Wafer schnell durch eine horizontal rotierende Ätzkammer mit hoher Genauigkeit und Kontrolle zu ätzen. Die Kammer besteht aus einer oberen und unteren Platte und der Wafer ist zwischen den beiden angeordnet. Die obere Platte wird in einer kontinuierlichen Bewegung bewegt, da die untere Platte unabhängig gesteuert wird, wodurch das gewünschte Ätzmuster erreicht werden kann. Darüber hinaus ist APPLIED MATERIALS Centura eMax CT + in der Lage, mehrere Reaktoren parallel für größere Produktionsabläufe zu betreiben. Jeder Reaktor ist an dieselbe Stromversorgung und gemeinsame Ressourcen angeschlossen, was die Verarbeitungsgeschwindigkeit und Effizienz erhöht. AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA E-MAX CT + Reaktor bietet eine breite Palette von Funktionen, so dass es die meisten Materialien mit Präzision und Genauigkeit zu ätzen. Es ist eine perfekte Wahl für die Herstellung von Hochleistungs-Halbleiterscheiben.