Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+ #9352627 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura eMax CT + Reactor ist ein leistungsstarkes, fortschrittliches Ätz- und Abscheidungswerkzeug für die Herstellung von integrierten Schaltungen und anderen fortschrittlichen elektronischen Geräten. Dieses Tool kombiniert ein Standard-Cluster-Tool mit einer integrierten MaxJET™ IIXE Beam Element Technology (BET) -Quelle, um einen erweiterten Ätz- und Abscheidungsprozess bereitzustellen. Der Reaktor wird in der Halbleiterherstellung verwendet, um Materialien genau abzuscheiden oder zu ätzen. Es verwendet eine MaxJET™ IIXE BET-Quelle, um das Material an den Wafer zu liefern, der dann von der Abscheide- oder Ätzkammer durch einen computergesteuerten Hochgeschwindigkeitsstrahl angetrieben wird. Der Strahlstrom sorgt für einen präzisen und gleichmäßigen Transport des Materials zum Substrat. Das eMax CT + nutzt auch eine Process Digital Magnetic Planar Control (MPC) -Ausrüstung, um Ätzparameter präzise zu steuern. Dieses System ermöglicht die vollständige Kontrolle über den Ätzprozess, um höchste Präzision und Wiederholbarkeit zu erreichen. Das eMax CT + umfasst ein Standard-Cluster-Tool, das erweiterte Funktionen wie Quellenausrichtung, Hot-Punching und Portionierung, eine Vision-Einheit für die Platzierung von Wafern, sicheren Datentransport und automatisierte Prozessoptimierung umfasst. Das Cluster-Tool gewährleistet eine wiederholbare und robuste Verarbeitung, während die visuelle Inspektion höhere Erträge und einen höheren Durchsatz liefert. Darüber hinaus ist der Reaktor mit einer Reihe von Mess- und Kontrollsystemen ausgestattet, um Genauigkeit und Leistung zu gewährleisten. Dazu gehört eine optische Diagnosemaschine, die Prozessparameter wie Kammerdruck, Gasfluss, Temperaturen, Oberflächentopologie und Gaszusammensetzung überwacht, um einen optimalen Betrieb zu gewährleisten. AMAT Centura eMax CT + Reactor ist ein zuverlässiges, leistungsstarkes Werkzeug zur Herstellung fortschrittlicher und präziser Funktionen auf integrierten Schaltungen und anderen Halbleiterbauelementen. Es verwendet ein integriertes MaxJET™ IIXE BET-Tool, ein Process Digital MPC-Asset und eine Reihe von Mess- und Kontrollsystemen, um präzise und wiederholbare Ätz- und Hinterlegungsprozesse zu gewährleisten. Der Reaktor ist perfekt für die Herstellung von integrierten Schaltungen, elektronischen Geräten und anderen fortschrittlichen Geräten.
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