Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax #9139787 zu verkaufen

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ID: 9139787
Dry etcher I Phase II Body MEMS line : 8” 2005 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura eMax ist ein Hochleistungsreaktor, der für die qualitativ hochwertige Verarbeitung von ultrathin geschichteten Halbleitersubstraten konzipiert ist. AMAT Centura eMax ist mit fortschrittlichen Designfunktionen ausgestattet, die bei der Herstellung und Charakterisierung der abgeschiedenen Dünnschichtschichten ein Höchstmaß an Gleichmäßigkeit und Leistung gewährleisten. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura eMax verwendet einen PC-gesteuerten, robotergesteuerten Lademechanismus für den Betrieb in Hochvakuumumgebungen und für eine sichere und effiziente Beladung mehrerer Stücke Halbleitersubstrat in das System. Dieses System hat die Kontrolle über die Substratbewegung, die Gasströme und ausgewählte Prozesstemperaturen. Die Fähigkeiten des Roboters bieten die zuverlässigste Handhabung empfindlicher Wafer und ermöglichen eine genaue Platzierung für eine erfolgreiche Abscheidung von Material auf dem Substrat. Centura eMax umfasst auch mehrere fortgeschrittene Prozesse. Es kann mit einem Remote Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition Prozess (ALE Depiting) konfiguriert werden und ist auch mit anderen Technologien wie Chemical Vapor Deposition (CVD) kompatibel. ALE-Ablagerung bietet Gleichmäßigkeit, Wiederholbarkeit und verbesserte Leistung im Vergleich zu herkömmlichen Ablagerungsprozessen. AMAT/APPLIED MATERIALS Mit Centura eMax können Anwender auch ihre Substratverarbeitung mit einer Vielzahl von Filmstapeln spezialisieren, die von einfachen Metalloxidschichten bis hin zu komplexen Substraten reichen, die < 100 Angström-Mehrfachschichten erfordern. Das eigensichere Design von AMAT Centura eMax beinhaltet Automatisierungsfunktionen, um den Eingriff des Bedieners zu minimieren und ein hohes Maß an Wiederholbarkeit und Genauigkeit der abgelagerten Materialien zu gewährleisten. Sein effizientes Layout, kombiniert mit fortschrittlichen Funktionen zur Überwachung, Prozesskontrolle und Datenerfassung, reduziert Ausfallzeiten und erhöht die Betriebseffizienz. Die Kammern sind für einfache Wartung, Inspektion und Entunreinigung ausgelegt, und die integrierten Sicherheitsmerkmale machen APPLIED MATERIALS Centura eMax sehr benutzerfreundlich. Centura eMax ist ein robuster Hochleistungsreaktor für eine effiziente und zuverlässige Substratverarbeitung. Seine fortschrittlichen Konstruktionsmerkmale machen es zur perfekten Wahl für Anwendungen, die höchste Gleichmäßigkeit und Genauigkeit bei der Herstellung und Charakterisierung ultradünner Schichtsubstrate erfordern. Für die fortschrittlichsten und hochwertigsten Halbleitersubstrate ist AMAT/APPLIED MATERIALS Centura eMax das ideale System.
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