Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax #9239957 zu verkaufen

ID: 9239957
Weinlese: 2001
Etcher (2) Chambers Rev. P1 Rev. 7 2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura eMax ist ein fortschrittlicher modularer Reaktor, der entwickelt wurde, um eine fortschrittliche und zuverlässige Halbleiterverarbeitung bei der extrem ultravioletten (EUV) Frequenz zu ermöglichen. Im Gegensatz zu anderen Produktionsreaktoren verfügt AMAT Centura eMax über zwei völlig unabhängige Kammern mit separaten Quellen und bietet damit einen kostengünstigen Ansatz zur Prozessoptimierung mit der doppelten Leistung. Die Dual-6 kW-Quellen sind ideal für Fertigungsprozesse, die einen doppelten Durchsatz bei hoher Präzision erfordern, wie z.B. Photolackstrippen, Abscheiden und Ätzen. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura eMax verfügt über proprietäre Antireflexbeschichtungen, um eine präzise Strukturierung und Funktionskontrolle zu erzielen, die eine größere Kontrolle über den Konstruktionsprozess ermöglicht. Der Reaktor ist auch mit einem einstellbaren Drucksystem ausgestattet, das eine präzise Verarbeitung für ein kostengünstiges Ätzen von empfindlichen Materialien bietet. Mit seiner Fähigkeit, Nano-Shorts zu reduzieren, wurde Centura eMax für die Rippenhöhenoptimierung in der fortschrittlichen EUV-Lithographie eingesetzt. Die kompakte Größe des Systems bietet eine effiziente Raumnutzung und ermöglicht die Installation an engen Fertigungsorten. Als optimales Werkzeug für Produktionsprozesse mit EUV bietet es eine schnelle Abtastrate und einen hochenergetischen Strahl, der durch schwer ätzbare Schichten präzise ätzen kann. Die maximale Abtastrate von 500 qcm pro Minute ermöglicht eine schnelle Prozessabstimmung und eine Erhöhung des Durchsatzes durch Verkürzung der Zykluszeiten. Eine fortschrittliche Prozesssteuerung arbeitet mit der Mensch-Maschine-Schnittstelle zusammen, um eine einfache Einrichtung und Steuerung des Reaktors mit schnellen Parametereinstellungen zu ermöglichen. Die benutzerfreundliche Oberfläche ermöglicht eine erhöhte Genauigkeit bei der Steuerung von Prozessparametern wie Ätzraten, Abscheideraten und Filmprofilen. Besonders effektiv für die Batch-EUV-Verarbeitung bietet das System Wiederholbarkeit und zuverlässige, ertragreiche Produktionsläufe. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura eMax kombiniert EUV-Leistung, fortschrittliche Prozesssteuerungsfunktionen und einen geringen Platzbedarf und ist eine zukunftsweisende Produktionsreaktorlösung für anspruchsvolle Halbleiterprozesse. Das innovative Design bietet die Geschwindigkeit, Flexibilität und Präzision für die volumenstarke Fertigung und Leistungsoptimierung.
Es liegen noch keine Bewertungen vor