Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMxP+ #9248728 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Der Centura eMxP + Reaktor ist ein wichtiges Werkzeug für die Halbleiterherstellung. Es ist eine Plasma-verbesserte chemische Dampfabscheidung (PECVD) Ausrüstung, die hohe Abscheidungsraten und ausgezeichnete Gleichmäßigkeit für Ätz- und Oxynitrid-Anwendungen bietet. Die Bearbeitungskammer eMxP + mit 400 mm Durchmesser ermöglicht größere Substrate und höhere Durchsätze als herkömmliche Reaktoren. Seine einzigartige Kammer/Stab-Design hilft, präzise Kontrolle über die Abscheidung Umgebung und Prozess. Der eMxP + verwendet außerdem einen fortschrittlichen quaternären HF-Power-Combiner, mit dem bis zu drei Prozessgase in jeder Kombination verwendet werden können. Dies ermöglicht eine bessere Steuerung und Handhabung der Abscheidung. Der eMxP + nutzt zudem die neueste HF-Stromgenerator-Technologie für höhere Leistungsabgabe und maximale Temperaturgleichförmigkeit in allen Anwendungen. Das eMxP + ist auf Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit ausgelegt. Es verfügt über ein separates statisches Wafer-Erwärmungssystem, um gleichmäßige Vorbehandlungstemperaturen zu gewährleisten, minimiert das Potenzial von Partikelverunreinigungen aus dem Substrathalter. Die Substratkühleinheit trägt dazu bei, Prozessvariationen zu minimieren und konsistente Ergebnisse zu erhalten. Das eMxP + ist zudem mit einer Regelmaschine mit Temperatur- und Abscheideprofil-Rückkopplung für eine präzise Temperatur- und Abscheidungsregelung mit maximaler Gleichmäßigkeit ausgestattet. Das eMxP + bietet höchste Prozessflexibilität. Der eMxP + ist mit seinem einzigartigen Design mit zwei leichten Rohren in der Lage, die schnellsten Hoch- und Hochfahren durchzuführen, sodass die Anwender die Prozessanforderungen erfüllen können. Sein hoher Abscheidungsdurchsatz und seine Gleichmäßigkeit aufgrund seiner Kammerkonstruktion ist ideal für Anwendungen mit hoher Produktivität. Neben seinen Funktionen verfügt AMAT Centura eMxP + über integrierte Sicherheit und Umweltschutz. Seine Kühlkörper und Schilde an den Innen- und Außenteilen des Werkzeugs reduzieren die Wärmeübertragung in den Raum und sorgen für eine sicherere Arbeitsumgebung. Seine IED-konforme Kühlung minimiert die verschwenderische Gasableitung und senkt gleichzeitig die Möglichkeit einer Probenkontamination. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura eMxP + ist ein leistungsstarker und effizienter Reaktor für hochproduktive Halbleiterherstellungsanwendungen. Mit bis zu drei Prozessgasen in beliebiger Kombination und einer Verarbeitungskammer mit 400 mm Durchmesser bietet der eMxP + höchste Abscheidungsgleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit. Mit seinen fortschrittlichen Heiz- und Kühlsystemen bietet es maximale Temperaturgleichmäßigkeit und Prozessflexibilität. Es verfügt auch über eingebaute Sicherheit und Umweltschutz für eine sicherere Arbeitsumgebung.