Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA ENABLER E2 #9235111 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA ENABLER E2 ist ein Mehrkammertrockenätzreaktor der nächsten Generation. Es ist ideal für die kostengünstige Herstellung fortschrittlicher Gerätestrukturen und eignet sich gut für MEMS, HF, Leistungshalbleiter und fortschrittliche Verpackungsanwendungen. AMAT CENTURA ENABLER E2 hat einen modularen Aufbau, der Hochdurchsatz-HF-Plasmaätz-, Tiefätz- und Flugzeit-Ätzfunktionen in einer einzigen kompakten Ausrüstung bereitstellen kann. Sie weist zwei unabhängig voneinander gesteuerte Quellkammern und eine Plasmakammer auf. Die Kammern können optimal für die Verarbeitung unterschiedlicher Materialien und Strukturen konfiguriert werden. Die Quellkammern verfügen über HF-Erregung mit unabhängiger Leistungsregelung, die ein großflächiges Ätzen von dielektrischen und schwer ätzbaren Materialien ermöglicht. Die HF-Leistung ist in 20kHz Schritten bis 500W einstellbar und kann über eine Fläche von mehr als 6 Zoll im Durchmesser aufgebracht werden. Die Quellkammern enthalten außerdem Komfortmerkmale wie Wafer-Location-Mapping und Gamma-Ray-gestützte Waferbelastung für eine verbesserte Rezeptübertragung und präzise Ätzsteuerung. Die Plasmakammer bietet eine tiefe Ätzung mit reaktiver und Inertgaschemie, die eine einfache Topographie und Funktionsoptimierung ermöglicht. Die Ätzrate ist zwischen 0,5 und 500 nm/min einstellbar und die Kammer unterstützt auch eine Substrattemperaturregelung von bis zu 1000 ° C. Der Raum schließt weiter sowohl induktiv als auch Elektronzyklotronklangfülleerregungsweisen, sowie eine fortgeschrittene Induktionsrolle für den optimalen aktuellen Raumvertrieb ein. ANWENDUNGSMATERIALIEN CENTURA ENABLER_E2 beinhaltet ein eingebautes Abpumplastschloss mit einem schnell verschmutzenden Rückgewinnungssystem. Das Lastschloss behält zwischen Waferbelastung einen extrem niedrigen Unterdruck bei, um die Be- und Entladezeiten zu reduzieren. Zusätzlich enthält das Lastschloss eine aktive gekühlte Backeinheit, die kürzere Backzeiten ohne Qualitätseinbußen ermöglicht. Insgesamt ist AMAT CENTURA ENABLER_E2 ein fortschrittlicher Mehrkammerätzreaktor, der eine Vielzahl von Produktionsprozessen in einer einzigen kompakten Maschine ermöglicht. Es bietet leistungsstarke Ätzfunktionen und ist ideal für die Produktion von MEMS, HF, Leistungshalbleiter- und fortschrittlichen Verpackungstechnologien. Die zuverlässige Leistung und Wirtschaftlichkeit dieses Tools machen es zu einer zuverlässigen Wahl für viele Anwendungen.