Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Epi #9157497 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Epi ist ein Hochtemperatur-Bearbeitungswerkzeug, das typischerweise bei der Herstellung von Mikroelektronik, Optoelektronik und MEMS-Geräten eingesetzt wird. Es ist ideal für epitaktische Abscheidung, Diffusion, Ionenimplantation und andere Ätzprozesse, aufgrund seiner zuverlässigen Leistung, Wiederholbarkeit und Langzeitstabilität. Das Werkzeug nutzt eine vertikale Warmwand, Single-Wafer-Reaktor-Design mit bis zu zwei Kammern, so dass mehrere Prozessschritte wie vorreinigen und/oder epitaktischen Wachstum in einem Gerät durchgeführt. Die Kammern sind mit einem Hochfrequenzgehäuse, einem Lastschloss, einer Auspuffanlage und einem Quarzduschkopf ausgestattet. Eine bewegliche LN2 gekühlte Lippe trennt die Lastschloßkammer von der Abscheidekammer, wodurch Substratmaterial eingebracht werden kann. Der Prozesstemperaturbereich liegt zwischen -150 ° C und 850 ° C, was eine Vielzahl von Operationen ermöglicht. AMAT Centura Epi umfasst programmierbare Controller, mit denen Prozesssteuerungsparameter vom Benutzer angepasst werden können. Es kann auch mit einer Remote-Schnittstelle betrieben werden, so dass Benutzer Prozesse überwachen und anpassen, während weg von der Maschine. Das System ist mit einem Kontaminationsmonitor ausgestattet, mit dem Benutzer Prozessparameter zurückführen können, um sicherzustellen, dass die Umwelt sauber ist. Angewandte Materialien Centura Epi kann für eine Reihe von Anwendungen verwendet werden, einschließlich dielektrische Abscheidung und Oxidation, Silizium-auf-Isolator (SOI) Herstellung, Abscheidung von Barriereschichten und Low-K-Dielektrika, sowie flache Übergangsbildung. Es ist optimal für den Einsatz bei der Herstellung von integrierten Schaltungen, Halbleitern, Optoelektronik, MEMS und anderen Arten von Geräteanwendungen. Centura Epi bietet eine Vielzahl von Prozessoptionen, wie Stapelverarbeitung, sequentielle Verarbeitung und Inline-Verarbeitung. Bei der Chargenverarbeitung werden mehrere Substrate auf die Einheit geladen, gemeinsam verarbeitet und anschließend auf einmal entladen. Durch die sequentielle Verarbeitung kann ein einzelnes Substrat gleichzeitig bearbeitet werden. Die Inline-Verarbeitung wird verwendet, wenn Prozesse in eine Produktionslinie integriert werden und Substrate mehreren Prozessen ausgesetzt sind. Darüber hinaus bietet AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Epi ein anpassbares Design, mit dem Benutzer benutzerdefinierte Komponenten in die Maschine integrieren und das Werkzeug an ihre spezifischen Anforderungen anpassen können. Seine Zuverlässigkeit, Wiederholbarkeit und Langzeitstabilität machen es zu einem zuverlässigen und vielseitigen Werkzeug für die Herstellung von integrierten Schaltungen und anderen Halbleiterbauelementen.