Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Epi #9215491 zu verkaufen

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ID: 9215491
Wafergröße: 12"
System, 12" Atmospheric 2-chamber frame (1) Chamber only Power rack Gas panel Missing parts: (1) Chamber Upper and lower lamp module MF robot and controller.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Epi Reaktor ist ein vertikaler Reaktor, der in der Halbleiterherstellung verwendet wird. Es ist ein Abscheidungssystem, das zur Herstellung dünner Filme auf den bei der Herstellung von Halbleiterchips verwendeten Silizium-Wafern verwendet wird. Der Epi-Reaktor besteht aus drei Hauptkomponenten: der Hauptkammer, dem Hauptträger und der Sekundärkammer. Die Hauptkammer besteht aus Edelstahl und besteht aus zwei Hauptabschnitten: dem oberen Abschnitt, in dem die Wafer platziert sind, und dem unteren Abschnitt, in dem die Wafer-Stützträger untergebracht sind. Der Hauptträger ist ein System von zwei Karussells, die um den Umfang der Hauptkammer laufen. Dieses System ermöglicht die Abscheidung mehrerer Schichten auf den Wafern beim Umlauf der Kammer. Die Sekundärkammer ist mit Dummy-Wafern ausgestattet, die die Gleichmäßigkeit bei der Abscheidung des abgeschiedenen Materials gewährleisten. Der Epi-Reaktor arbeitet durch die Erzeugung eines CVD-Prozesses. Dieses Verfahren beinhaltet die Positionierung eines Gases mit einem chemischen Vorläufer, wie Silizium-Dotierungsgase oder organische Gase, innerhalb des Reaktors. Das Gas wird dann auf eine Temperatur erhitzt, die durch das Verfahren bestimmt wird. Das erhitzte Gas reagiert mit dem Wafer und bildet auf seiner Oberfläche einen dünnen Film. Die Dicke dieser Folie ist abhängig von der Temperatur des Verfahrens, der Zeit, die der Wafer im Reaktor verbringt, und der chemischen Zusammensetzung der verwendeten Gase. Der Epi Reactor ist ein zuverlässiges Werkzeug für die Halbleiterherstellung, das eine schnelle und konsistente Abscheidung dünner Schichten ermöglicht. Seine hohe Temperaturfähigkeit ermöglicht die Abscheidung komplexerer Schichten, wie Stapelschichten aus verschiedenen Materialien. Die Fähigkeit, die Abscheidungstemperatur genau zu kalibrieren und die Dicke der Schicht zu kontrollieren, ermöglicht hohe Ausbeuten und eine hohe Qualität der Schichten, was sie zu einem wesentlichen Bestandteil der Halbleiterherstellung macht. Dank seiner erstklassigen Sicherheitsfunktionen und seiner strengen Wartungskontrollen ist der Epi Reactor nach wie vor einer der zuverlässigsten und effizientesten Reaktoren in der Halbleiterindustrie. Seine einfache Konstruktion und einfache Benutzeroberfläche machen es zu einer kostengünstigen Lösung für eine Reihe von Produktionsanforderungen, und seine hohe Temperaturfähigkeit ermöglicht es, bei der Abscheidung einiger der fortschrittlichsten Schichtstrukturen und Materialien verwendet werden.
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