Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Epi #9229958 zu verkaufen

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ID: 9229958
Weinlese: 2006
MTSL System Wide body HP Robot (3) EPI Chambers Controller with cables 2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Epi Reaktor ist eine vielseitige Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) Maschine der nächsten Generation für epitaktisches Wachstum von Dünnschicht-Halbleitern. Die Ausrüstung ist optimiert, um optimale Gleichmäßigkeit, hohen Durchsatz und erweiterte Prozessfähigkeiten zu bieten, um anspruchsvolle Halbleiterbauelementanwendungen zu erfüllen. AMAT Centura Epi nutzt eine Zweizonenarchitektur, die sowohl PECVD- als auch Edge-graded PECVD (EG-PECVD) -Prozesse zur Qualitätsabscheidung von Dünnschicht-Halbleitermaterialien umfasst. Das System verfügt über eine geteilte interaktive Kammerkonstruktion, die einen effizienten Dampftransport und die Platzierung von Material auf die Waferoberfläche gewährleistet. Dies in Verbindung mit dem Niederdruckbetrieb der Kammer liefert wiederholbare Ergebnisse bei niedrigen Spannungen und minimierten Ungleichförmigkeiten. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura Epi ist in der Lage, eine Reihe von Materialien zu verarbeiten, darunter Silizium, Silizium-Germanium und komplexe III-V-Verbindungen. Darüber hinaus ist der Reaktor in der Lage, Prozesse wie Diodenspaltfüllung, Ionenimplantation und Elektrodenabscheidung durchzuführen. Das Gerät wurde entwickelt, um die für die neuesten Anwendungen von Halbleiterbauelementen erforderlichen hochreinen, gleichmäßigen und fortschrittlichen Prozessfähigkeiten bereitzustellen. Centura Epi Reaktor ist gut geeignet für eine Vielzahl von Kooperationen zwischen mehreren Unternehmen. Es bietet ein hohes Maß an Spezialisierung und Flexibilität, so dass eine breite Palette von Anwendern ihre eigenen einzigartigen Prozesse für die große Produktion zu bauen. Der Benutzer hat auch die Möglichkeit, seine Prozessparameter vollständig anzupassen. Schließlich kommt die Maschine mit fortschrittlichen Prozesskontrollsystemen, die die Prozessleistung überwachen und eine gleichbleibende Produktqualität gewährleisten. Es bietet auch eine breite Palette von integrierten Diagnosen, einschließlich detaillierter Echtzeit-Profilmessung und Temperaturabbildung. Dies hilft, den Produktionsprozess zu rationalisieren und die Produktivität zu steigern.
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