Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Epi #9282867 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Epi ist ein Reaktortyp, der ein CVD-Verfahren (Chemical Vapor Deposition) verwendet, um dünne Filme und Materialschichten auf Substratoberflächen anzubauen. Der Reaktor wird hauptsächlich in der Halbleiter- und Elektronikindustrie zur Abscheidung von dielektrischen und metallischen Dünnschichten eingesetzt. Der Reaktor ist für Anwendungen mit hohem Durchsatz mit hoher Präzision und Wiederholbarkeit ausgelegt. Der AMAT Centura Epi Reaktor ist mit einem einstellbaren, in der Höhe beheizten elektrostatischen Spannfuttersockel ausgestattet, wodurch eine breite Palette von Substratgrößen und -konfigurationen verwendet werden kann. Eine integrierte Einrichtung zur Substratheizung und -kühlung ist ebenfalls vorgesehen, um wiederholbare Prozesse zu gewährleisten, während die optionale Option für gekühltes Gas eine präzise Temperaturregelung in der Kammer gewährleistet. Ein weiteres Merkmal ist die quarzgefütterte Pyrex-Abscheidekammer, die eine Verunreinigung von Substraten und dünnen Schichten minimiert. Der Reaktor ist auch mit mehreren In-situ-Überwachungsgeräten ausgestattet, einschließlich eines Wärmeleitfähigkeitssensors und eines Kapazitätsmonitors, um kontinuierliche und genaue In-situ-Daten während der Abscheidungsprozesse bereitzustellen. Der einstellbare reaktive Atomflussmonitor hilft bei der Optimierung der nicht umgesetzten Dünnschichtspezies und das optische Dichtedetektionssystem ermöglicht die Auswertung von Dünnschichthaftung und -dicke. ANGEWANDTE MATERIALIEN Der Centura Epi Reaktor bietet mit seiner eingebauten Epicenter-Plattform eine hohe Prozessautomatisierung. Epicenter ist ein leistungsfähiges integriertes Prozessleitsystem, das eine Fernüberwachung des Abscheideprozesses und eine zentrale Steuerung von Rezepten und Prozessparametern ermöglicht. Die Plattform ermöglicht zudem ein effizientes Rezept-Management und eine fortschrittliche Diagnose verbessert die Wiederholbarkeit und Zuverlässigkeit der Prozesse. Centura Epi ist ein vielseitiger und zuverlässiger Reaktor, der sich ideal für Anwendungen eignet, die von der Halbleiterherstellung und der Elektronikmontage bis zur fortschrittlichen Dünnschichtabscheidung reichen. Die Kombination aus Präzision, Automatisierung und Modularität macht den Reaktor zu einer ausgezeichneten Wahl für die Serienproduktion und Forschung in der Halbleiter- und Elektronikindustrie.