Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Epsilon / 0010-42572 #9199307 zu verkaufen

ID: 9199307
Wafergröße: 12"
Enabler chambers, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Epsilon/0010-42572 ist ein Single-Wafer-Reaktor zur UV-Verarbeitung von Verbundhalbleitermaterialien wie Galliumarsenid (GaAs) und Indiumphosphid (InP). Das Gerät verfügt über ein patentiertes zweistufiges Heizsystem, das eine präzise Temperaturregelung mit hoher Wiederholbarkeit ermöglicht. Es ist mit einem unabhängigen Verteiler für drei UV-Quellen ausgestattet; Metallhalogenid, Diode und Laser. Jede Quelle kann individuell gesteuert und für die Hochleistungsverarbeitung optimiert werden. Das Gerät verfügt zudem über eine luftgekühlte Hochfrequenzstromquelle, die eine geringe reflektierte Leistung und hohe Leistungsstabilität ermöglicht. Es enthält eine Temperaturregelstruktur, die aus pyrometergesteuertem, geschlossenem Ofen und Plattformtemperatur besteht. Zusätzlich enthält die Maschine eine schwingungsarme Waferplattform und einen Temperaturaustauscher, um eine gleichmäßige Temperatur über den Wafer zu gewährleisten. Die Centura Epsilon ist hochflexibel und benutzerfreundlich. Es unterstützt eine breite Palette von Wafergrößen und kann für verschiedene UV-Verarbeitungsanwendungen verwendet werden. Darüber hinaus verfügt es über eine Standardschnittstelle, mit der Benutzer es in ihre bestehende Verarbeitungsumgebung integrieren können. Darüber hinaus steht ein optionaler Ladeanschluss zum automatischen Be- und Entladen von Wafern zur Verfügung. Insgesamt ist AMAT Centura Epsilon/0010-42572 ein fortschrittlicher, leistungsstarker Einzelwaferreaktor, der für die UV-Verarbeitung auf Verbundhalbleitermaterialien entwickelt wurde. Es bietet flexible Steuerungsparameter sowie Präzisionstemperaturregelung und -abstimmung, die eine leistungsstarke und wiederholbare Leistung ermöglichen.
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