Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura HDP #9142606 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura HDP
ID: 9142606
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1995
HDP-CVD system, 8" 1995 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura HDP (High Density Plasma) Reaktor ist ein Multi-User-Tool für die Halbleiter-Wafer-Verarbeitung entwickelt. Es wird bei der Herstellung einer Vielzahl von Hochleistungs-integrierten Schaltungen eingesetzt, einschließlich erweiterter Speicher und Logikgeräte. AMAT Centura HDP Reaktor ist ein kapazitiv gekoppelter Plasma (CCP) Reaktor, was bedeutet, dass er auf elektrische Felder angewiesen ist, um ein Plasma über einem Werkstück zu erzeugen und aufrechtzuerhalten. Es kann Prozessgase wie Silan (SiH4), Stickstoff (N2) und Argon (Ar) bei Drücken zwischen 0,001 Torr und 0,2 Torr laufen lassen. Diese breite Palette von Druckniveaus ermöglicht ideale Prozesse für die Erstellung fortschrittlicher Geräte, die strenge Prozessrichtlinien erfordern. Der Reaktor erzeugt in einer Kammer ein Plasma, das dann beim Überfahren des Plasmas einem Wafer ausgesetzt wird. Der Reaktor sorgt für eine hohe Kontrolle des Volumens und der Temperatur des Plasmas und ermöglicht ein selektives Ätzen und Abscheiden mit präzisen Parametern. Mit APPLIED MATERIALS erzeugte Plasmen Centura HDP-Reaktor sind in der Lage, Materialien auf mehreren Ebenen zu verarbeiten, von vorne bis hinten und von einschichtig bis mehrschichtig. Centura HDP-Reaktor arbeitet mit einer fortschrittlichen modellbasierten Steuerung. Dieses System ermöglicht die Optimierung von Prozessrezepten durch eine Kombination aus Simulationen, Experimenten und Echtzeit-Prozessüberwachung. Mit dieser Einheit können Anwender auch die Betriebsbedingungen und Kammerkonfigurationen des Reaktors feinjustieren, was komplexe Prozessabläufe ermöglicht. AMAT/APPLIED MATERIALS Der Centura HDP Reaktor ist für den Einsatz in einer Reinraumumgebung konzipiert und besteht aus UV-beständigem, korrosionsbeständigem Material, so dass er unter Hochtemperatur- und Hochvakuumbedingungen zuverlässig arbeiten kann. Darüber hinaus wurde die Maschine entwickelt, um den Einsatz gefährlicher Chemikalien zu reduzieren, das Kontaminationsrisiko zu reduzieren und die Kosten zu senken. Der AMAT Centura HDP Reaktor ist ein ideales Werkzeug für die Herstellung fortschrittlicher Speicher- und Logikgeräte, da er ein hohes Maß an Kontrolle und Flexibilität sowie zuverlässige Leistung bietet. Seine Mehrbenutzer-Fähigkeiten und sein ausgeklügeltes Prozesskontrollwerkzeug machen es zu einem idealen Werkzeug für die Halbleiterherstellung und ermöglichen die Herstellung von Hochleistungsgeräten mit komplexer Funktionalität.
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