Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura HDP #9249365 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura HDP (High-Density Plasma) Reaktor ist eine komplette Ätzlösung entwickelt, um hohe Produktionsausbeuten bei hohen Durchsätzen zu liefern. Dieser fortschrittliche Reaktor ist in der Lage, eine breite Palette von Materialien wie III-V, Silizium Germanium, Gruppe III-B Metalle und ihre Nitride und andere Verbundmaterialien zu verarbeiten. Es ist mit einem optimierten Source-Drain-Etch-Prozess konfiguriert, um die Zeit eines gesamten Ätzzyklus zu reduzieren. AMAT Centura HDP ist mit einem DC-HF-Netzteil mit einer höheren Schaltfrequenz sowie einer MC-Plasma-Quelle für verbesserte Ätzgleichförmigkeit ausgestattet. Die Gleichstromversorgung hilft auch, höhere Ätzrate und Prozessgleichförmigkeit zu erreichen. Darüber hinaus ist APPLIED MATERIALS Centura HDP in der Lage, mit präzisen Plasmaätzzyklen eine höhere Genauigkeit zu erreichen. Die zweifrequente, zweiphasige Abstimmkonfiguration des MC-Plasma hilft, die Ätzzeit zu reduzieren und gleichzeitig eine hohe Gleichmäßigkeit zu gewährleisten. Centura HDP verfügt über eine Mehrfrequenz-Plasmaquelle, die zur Regulierung und Stabilisierung der Plasmadichte ausgelegt ist, um hochgenaue Ätzergebnisse zu erzielen. Es bietet auch eine fortschrittliche horizontale Wafer-Transportausrüstung, die eine hohe Prozessgleichförmigkeit gewährleistet. Seine Quarzkammer aus Edelstahl schützt die Kammeroberfläche und hält die Betriebszeit aufrecht. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura HDP ist wartungsarm und sehr zuverlässig. Das eingebaute Messtechnikwerkzeug misst die Mikrorauhigkeit der Ätzlinie und sorgt für eine möglichst präzise Ätzung. Darüber hinaus umfasst das System eine Reihe von Verarbeitungsrezepten, um die vollständige Kontrolle über den Ätzprozess zu geben. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine GUI-basierte Steuerschnittstelle, die eine schnelle Einrichtung, einen optimierten Betrieb und eine vereinfachte Ventilsteuerung für schnelle Ätzparameteränderungen ermöglicht. Insgesamt ist AMAT Centura HDP ein fortschrittlicher Ätzreaktor, der mit seiner hochdichten Plasmaquelle, der Mehrfrequenzplasmaquelle, der horizontalen Wafertransportmaschine und der Quarzkammer aus Edelstahl hervorragende Prozessfähigkeiten bietet. Es ist eine zuverlässige Lösung, die die Produktionsausbeuten erhöht und die Zeit eines ganzen Ätzzyklus reduziert. Es wird auch mit einer umfassenden GUI-basierten Steuerungsschnittstelle und Verarbeitungsrezepten geliefert, die eine vollständige Kontrolle über den Prozess ermöglichen.