Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura HTF #9260258 zu verkaufen

Es sieht so aus, als ob dieser Artikel bereits verkauft wurde. Überprüfen Sie ähnliche Produkte unten oder kontaktieren Sie uns und unser erfahrenes Team wird es für Sie finden.

ID: 9260258
Weinlese: 2006
Epitaxial cluster system (3) Chambers atmospheric: Standard EPI Logitex wafer handling control Cooling circuit with digital flow-meters Door Interlocks PC Controller Temperature control: Dual pyrometer Process gases: TCS, PH3, Porr External cooling: Water cooled CE Marked Power requirements: 480 V, 240.0 Amp, 50 Hz, 3 Phase 2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura HTF (Hochtemperaturofen) ist eine Art thermischer Verarbeitungsreaktor außerhalb des Vakuums, der bei der Herstellung und Herstellung von Halbleiterchips und integrierten Schaltungen verwendet wird. Entwickelt, um bei Temperaturen von 500 bis 1200 Grad Celsius zu arbeiten, ist der Ofen in der Lage, erweiterte thermische Behandlungsanwendungen wie Oxidation, Nitridation, Rapid Thermal Process (RTP) Glühen, thermische Diffusion und andere Hochtemperaturverfahren. AMAT Centura HTF besteht aus einer vierzonigen, horizontal montierten Ofenkammer, die aus geschlitztem Teflon oder Hochtemperatur-Legierungsmaterial aufgebaut ist. Diese Kammer wird durch eine wassergekühlte, HF-angetriebene Asymmetrie-Induktionsspule beheizt und kann mit Gasdüsen zur Einleitung inerter oder reaktiver Prozessgase (wie Stickstoff und Sauerstoff) separat oder in Kombination in der Nähe der Oberfläche der Späne ausgerüstet sein. Die Temperatur der Ofenkammer kann durch den Advanced Process Controller, der auch Unterstützung für spezialisierte Substratunterstützungstechniken bietet, genau überwacht und eingestellt werden. Der Controller verbindet sich direkt mit der Centura-Hardware, so dass Prozessingenieure verschiedene Parameter wie Temperatur, Verweilzeit und Gasdurchflussraten einstellen und steuern können, um gewünschte Ergebnisse zu erzielen. ANGEWANDTE MATERIALIEN CENTURA HTF wurde unter Berücksichtigung der Sicherheit entwickelt und bietet effektive Sicherheit und Umweltschutz. Die Kammer ist mit einem Explosionskontrollsystem ausgestattet und entspricht den OSHA- und NFPA-Standards, während das Kühlsystem entsprechend gegen plötzliche Prozessübertragungen geschützt ist. Weitere Sicherheitsmaßnahmen, wie ein Notabschalter und ein Massefehlerkreisunterbrecher, sind ebenfalls verfügbar. AMAT CENTURA HTF ist eine kostengünstige Lösung für thermische Verarbeitungsanforderungen und bietet hervorragende Qualität, Wiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit bei gleichzeitig gewünschten Ergebnissen. Dadurch ist sie zu einem wesentlichen Bestandteil des Halbleiterchips und der Herstellung integrierter Schaltungen geworden.
Es liegen noch keine Bewertungen vor