Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura HTF #9260258 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9260258
Weinlese: 2006
Epitaxial cluster system
(3) Chambers atmospheric: Standard EPI
Logitex wafer handling control
Cooling circuit with digital flow-meters
Door Interlocks
PC Controller
Temperature control: Dual pyrometer
Process gases: TCS, PH3, Porr
External cooling: Water cooled
CE Marked
Power requirements: 480 V, 240.0 Amp, 50 Hz, 3 Phase
2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura HTF (Hochtemperaturofen) ist eine Art thermischer Verarbeitungsreaktor außerhalb des Vakuums, der bei der Herstellung und Herstellung von Halbleiterchips und integrierten Schaltungen verwendet wird. Entwickelt, um bei Temperaturen von 500 bis 1200 Grad Celsius zu arbeiten, ist der Ofen in der Lage, erweiterte thermische Behandlungsanwendungen wie Oxidation, Nitridation, Rapid Thermal Process (RTP) Glühen, thermische Diffusion und andere Hochtemperaturverfahren. AMAT Centura HTF besteht aus einer vierzonigen, horizontal montierten Ofenkammer, die aus geschlitztem Teflon oder Hochtemperatur-Legierungsmaterial aufgebaut ist. Diese Kammer wird durch eine wassergekühlte, HF-angetriebene Asymmetrie-Induktionsspule beheizt und kann mit Gasdüsen zur Einleitung inerter oder reaktiver Prozessgase (wie Stickstoff und Sauerstoff) separat oder in Kombination in der Nähe der Oberfläche der Späne ausgerüstet sein. Die Temperatur der Ofenkammer kann durch den Advanced Process Controller, der auch Unterstützung für spezialisierte Substratunterstützungstechniken bietet, genau überwacht und eingestellt werden. Der Controller verbindet sich direkt mit der Centura-Hardware, so dass Prozessingenieure verschiedene Parameter wie Temperatur, Verweilzeit und Gasdurchflussraten einstellen und steuern können, um gewünschte Ergebnisse zu erzielen. ANGEWANDTE MATERIALIEN CENTURA HTF wurde unter Berücksichtigung der Sicherheit entwickelt und bietet effektive Sicherheit und Umweltschutz. Die Kammer ist mit einem Explosionskontrollsystem ausgestattet und entspricht den OSHA- und NFPA-Standards, während das Kühlsystem entsprechend gegen plötzliche Prozessübertragungen geschützt ist. Weitere Sicherheitsmaßnahmen, wie ein Notabschalter und ein Massefehlerkreisunterbrecher, sind ebenfalls verfügbar. AMAT CENTURA HTF ist eine kostengünstige Lösung für thermische Verarbeitungsanforderungen und bietet hervorragende Qualität, Wiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit bei gleichzeitig gewünschten Ergebnissen. Dadurch ist sie zu einem wesentlichen Bestandteil des Halbleiterchips und der Herstellung integrierter Schaltungen geworden.
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