Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura I DPS+ #9093402 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura I DPS + ist ein hocheffizienter, teambasierter PECVD-Reaktor (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition), der die Anforderungen an die Verarbeitung von ultrahohen Seitenverhältnissen erfüllt. Mit einer 400-mm-Plattform und einem Multi-Station-Design ermöglicht das DPS + die Integration von bis zu fünf Werkzeugen pro Plattform und ist ideal für die hybride Integration mehrerer Folienbereiche. Im Kern der DPS + steht die erstklassige AMAT Centura I HD PECVD-Verarbeitungstechnologie. Es wurde entwickelt, um überlegene Filmgleichförmigkeit, Wiederholbarkeit und hohe Abscheidungsraten zu liefern. Das flexible Design der Geräte ermöglicht die Integration von bis zu fünf Werkzeugen in eine einzige Plattform mit Optionen zur Integration der neuesten Legierungstechnologien. Diese Mehrstationsfähigkeit ist ideal für Anwendungen wie MEMS (microelectromechanical systems) oder FEOL (front-end-of-line) Entwicklung, die unterschiedliche Abscheidungsschichten auf verschiedenen Wafern erfordert. Zum System gehört auch eine einzigartige Reaktanteneinheit, die eine einfache Handhabung von Reaktantgemischen ermöglicht. Dadurch kann der Anwender Abscheideparameter wie Rate, Konformität und Durchsatz anpassen. Darüber hinaus wurde die Maschine entwickelt, um die Handhabung von Wafern zu vereinfachen und die Produktivität durch die Verwendung von geteilten Waferkassetten für das schnelle Nachladen aufeinanderfolgender Wafer zu verbessern. Das Tool bietet außerdem eine Echtzeit-Prozessüberwachung mit umfassenden Feedbacksystemen, die detaillierte Informationen über die Prozessbedingungen liefern und es dem Benutzer ermöglichen, die Parameter nach Bedarf anzupassen. Darüber hinaus ist es mit einer ausgeklügelten, benutzerfreundlichen IT-Infrastruktur ausgestattet, die es einfach macht, Daten und Dateien in das Asset zu integrieren. Dies erhöht die Produktivität des Modells und sorgt für eine gleichbleibende Produktqualität. Insgesamt ist AMAT Centura I DPS + eine hocheffiziente und vielseitige PECVD-Ausrüstung, die den Anforderungen verschiedener fortschrittlicher Abscheidungsanwendungen gerecht wird. Mit seinen weitreichenden Fähigkeiten, der Fähigkeit, mehrere Filmstapel anzuzielen, und dem hohen Durchsatz ist der DPS + der ideale Reaktor für Anwendungen wie MEMS und FEOL-Verarbeitung.