Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura I PH2 #9227307 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura I PH2 Reactor ist ein vielseitiges Werkzeug zur Herstellung von Halbleiter- und Speicherbauelementen. Der Reaktor setzt ein magnetisch begrenztes Plasma ein, um dünne Filme auf den Halbleitersubstraten abzuscheiden. AMAT Centura I PH2 ist mit einer 200MHz Powerline™ Prozesssteuerungssoftware ausgestattet, die bis zu vier Plasmaquellen steuern kann. Der Reaktorraum hat einen Temperaturbereich von -25 ° C bis 40 ° C und seine Abmessungen messen 14 Zoll (35,56 cm) im Durchmesser und 18 Zoll (45,72 cm) in der Höhe. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura I PH2 Reactor verwendet eine magnetische Einschließungsvorrichtung zum Ätzen und Abscheiden von Materialien auf Halbleitersubstraten. Das System verwendet eine integrierte Bank von Elektromagneten, die Magnetfelder erzeugen, die das Plasma enthalten und modifizieren. Diese Felder schaffen eine stabile Umgebung und sorgen für eine gleichmäßige Temperatur über dem Substrat. Auf diese Weise kann Centura I PH2 während der Waferbearbeitung eine hohe Kontrolle aufrechterhalten. Die Kammer von AMAT/APPLIED MATERIALS Centura I PH2 Reactor ist vollständig eingeschlossen und chemisch inert. Es hat auch eine Druckfördereinheit, die verwendet wird, um inerte Gase zu liefern. Diese Maschine trägt zur Aufrechterhaltung der Gleichmäßigkeit des Plasmas und der Dicke der auf der Waferoberfläche abgeschiedenen Folien bei. Sie sorgt auch dafür, dass die im Abscheidungsprozess eingesetzten Gase nicht durch die Umgebungsluft verunreinigt werden. AMAT Centura I PH2 Reactor ist zudem mit einem Hochleistungsbrenner ausgestattet, mit dem das Plasma in Richtung Wafer gelenkt wird. Der Brenner ist in der Lage, einen Energiefluss bis zu 4W/cm2 zu liefern und kann Substrate jeder Größe bis zu 200mm verarbeiten. Der Brenner leitet das Plasma mit einer Geschwindigkeit von 6m/min zum Wafer. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura I PH2 Reactor ist eines der fortschrittlichsten Werkzeuge für die Herstellung von Halbleiter- und Speicherbauelementen. Es bietet eine überlegene Kontrolle während des Abscheidungsprozesses und kann gleichmäßige Ergebnisse über das Substrat liefern. Das Werkzeug ist auch in der Lage, eine breite Palette von Materialien zu handhaben, einschließlich Metalle, Dielektrika und Nanomaterialien.
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