Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura II 5200 #293819421 zu verkaufen
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ID: 293819421
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2019
Metal etchers, 8"
(2) Dual wide body chambers, DPS / DTM
Usage: ~50,000 wafers run
APEX 5513 RF Generator
MKS GHW12A RF Unit
Gas set: CF₄, O₂, CHF₃, N₂, SF₆, Ar, HBr, Cl₂, C₄F₈
EBARA Pump
SBC
2019 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura II 5200 ist ein physikalisches PVD-Prozesswerkzeug, mit dem ultradünne Halbleiterbauelemente erzeugt werden. Es ist ein fortschrittliches industrielles Werkzeug, das zur Produktion von Transistoren, Speichern und integrierten Schaltungen in hoher Stückzahl beiträgt, die eine höhere Leistung erfordern als andere Standard-PVD-Systeme. AMAT Centura II 5200 verfügt über eine parallele Hochvakuumkammer-Konstruktion mit einem hinteren belasteten Roboter zur Erleichterung des Wafertransports. Dieser Roboter kann einen 200mm-Wafer oder zwei kleinere Wafer gleichzeitig aufnehmen, so dass das System die Serienfertigung in hoher Stückzahl abwickeln kann. Das Werkzeug kommt mit Hochvakuumpumpen, bestehend aus einem Turbomolekularpumpensystem und kombinierten Diffusions-/Spiralpumpen. Es ist auch mit einer MultiHead-Quelle ausgestattet, die bis zu vier Quellen auf einer Planetenbahn bereitstellt, die bis zu 270 Grad um den Wafer in einer Umdrehung abdeckt. ANGEWANDTE MATERIALIEN Die Centura II 5200 ist in der Lage, unter verschiedenen Kammerkonfigurationen, Materialien, Gas- und Druckbedingungen zu arbeiten. Es verfügt über eine automatische Drucksteuerung und einen hochpräzisen Verschluss, der eine konsistente und wiederholbare Filmdickenabscheidung in verschiedenen Gate-Anwendungen gewährleisten kann. Darüber hinaus garantiert es eine glatte Oberflächenbeschichtung mit seiner fortschrittlichen Kollimations- und Rotationssteuerung. Das Tool bietet auch fortschrittliche Web-Monitoring-Software, automatisierte Wafer-Tracing und Werkzeugstatus, um eine einheitliche Filmabdeckung zu gewährleisten. Insgesamt ist Centura II 5200 ein fortschrittliches PVD-System, das die Anforderungen an Qualität und Durchsatz erfüllt. Es ist in der Lage, empfindliche Abscheidungsprozesse zu handhaben und ultradünne Halbleiterbauelemente zu erzeugen. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura II 5200 ermöglicht Anwendern mit einer Reihe von Funktionen und fortschrittlicher Leistung höchste Produktionserträge.
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