Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura II DPS #293792207 zu verkaufen
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ID: 293792207
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2001
Metal etcher, 8"
SNMF Wafer
ESC Chuck
VHP+ Robot
Wide body load lock
STP-1300 Turbo pump
Controller rack
Foreline Valve
ISO Valve
Seriplex gas box
(2) DPS Chambers
(2) ASP Chambers
2001 vintage.
AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS Centura II DPS ist ein fortschrittlicher, hocheffizienter, Einzel-Wafer-Diodenverarbeitungsreaktor, der eine optimale Leistung, Stabilität und Zuverlässigkeit für eine fortschrittliche technische Verarbeitung bietet. Der Reaktor weist eine große Wirkkammer mit einem Durchmesser von 510 mm auf und eignet sich für eine Vielzahl von Verarbeitungsanwendungen, wie Dünnschichtabscheidung, Ätzen und Glühen. Die reaktive Gasfördereinrichtung gewährleistet eine präzise Steuerung des Drucks und der Strömung von in die Kammer eingespritzten Elementen, wodurch der Benutzer Parameter wie Gasdruck, Strömungs- und Spülzeiten einstellen kann. Der Reaktor verfügt über eine hocheffiziente HF-Plasmaquelle und einen HF-Source-Isolationswandler, mit dem die Intensität und Gleichmäßigkeit des Plasmas gesteuert werden kann. Darüber hinaus ist AMAT Centura II DPS mit einem umfassenden, programmierbaren Vakuumregler zur präzisen Steuerung von Kammerdruck und Vakuum ausgestattet. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura II DPS umfasst mehrere leistungsstarke Software-Monitoring-Tools, wie Wachstumsrate-Tracking, Einheitlichkeitsmapping und Prozessparametersteuerung, sowie ein umfassendes Diagnosepaket, das den Anwendern die vollständige Kontrolle über das System gibt. Darüber hinaus ist Centura II DPS mit einer Fehlerbehandlungseinheit ausgestattet, die Fehler in der Maschine leicht erkennen und beheben kann, um den Verarbeitungsvorgang reibungslos zu halten. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura II DPS wurde unter strengen Bedingungen streng getestet und verfügt über ein äußerst robustes Design für maximale Zuverlässigkeit. Das Werkzeug ist sehr energieeffizient und erfordert eine minimale Wartung und kann überlegene Produktivität und Effizienz für die Serienproduktion liefern. Darüber hinaus bietet der Reaktor auch bei anspruchsvollsten Verarbeitungsläufen eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit der Ergebnisse. Zusammenfassend ist AMAT Centura II DPS ein fortschrittlicher, hocheffizienter Einzelwafer-Diodenreaktor mit außergewöhnlicher Zuverlässigkeit und Kontrolle, überlegener Gleichmäßigkeit der Ergebnisse und überlegener Energieeffizienz. Dieser Reaktor ist eine ideale Wahl für technische Verarbeitungsanwendungen und bietet eine ideale Plattform für die Serienproduktion.
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