Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura II DPS #9182836 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura II DPS Reactor ist eine variable Druckepitaxie (VPE) -Kammer zur Abscheidung von III-V-Materialien wie Indiumphosphid (InP) und seinen Legierungen. Es verfügt über eine „heiß-neutral-kalt“ -Quelle mit einem Temperaturbereich von 70 ° C bis 3000 ° C, wodurch es sowohl für Hochtemperatur- als auch für Niedertemperaturabscheidungstechniken geeignet ist. Der Reaktor verfügt auch über eine fortschrittliche automatische Waferaustauschausrüstung, die das Be- und Entladen von Wafern zu einer Brise macht. Mit einer maximalen Suszeptor-Größe von 200mm kann es verwendet werden, um komplexe Strukturen mit einer breiten Palette von Mustern abzuscheiden. Die Kammer selbst ist 21 "x26" x25 "und hat einen maximalen Betriebsdruck von 3 Torr Bereich. Es enthält auch einen Plasmagenerator zur Nitrid-Abscheidung bis zu 100W. Ein modernes Gasmischsystem ermöglicht eine präzise Kontrolle des Gasverbrauchs und ermöglicht eine hochgenaue Kontrolle der Materialdotierungskonzentrationen. Das Gerät verfügt über eine intuitive Benutzeroberfläche, die eine einfache Parametereinstellung ermöglicht, und einen integrierten Computer mit einem Touchscreen-Display, um die aktuellen Bedingungen anzuzeigen und Rezepte zu speichern. Für die Abscheidung kann AMAT Centura II DPS Reactor entweder eine Flüssigkeits- oder Dampffördermaschine verwenden. Das Flüssigkeitsabgabewerkzeug verwendet eine Dosieranlage und einen Temperaturregler, um den Materialfluss genau zu steuern. Das Dampffördermodell verfügt über beheizte Förderleitungen und Pumpen, die die Materialien auf der gewünschten Temperatur halten. ANGEWANDTE MATERIALIEN Der DPS-Reaktor Centura II verfügt auch über fortschrittliche Sicherheitssysteme, einschließlich einer Schnelllöseausrüstung zum Evakuieren der Kammer vor versehentlichen Druckspitzen und einem eingebauten Brandschutzsystem. Centura II DPS Reactor ist mit seiner Kombination aus fortschrittlichen Systemen eine ausgezeichnete Wahl für komplexe Abscheidungsaufgaben.