Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura II DPS #9402435 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA II DPS sind eine Großserie, verarbeiten Dünnfilmabsetzungsausrüstung stapelweise, die für fortgeschrittenen R&D und Produktionsanwendungen entworfen ist. Das System wurde entwickelt, um eine schnelle und zuverlässige Methode des Dünnschichtwachstums bereitzustellen und eignet sich für mehrere Anwendungen in Silizium-integrierten Schaltungs-Herstellungsprozessen, wie Sputterätzen, Abscheiden von Dielektrika und anderen fortgeschrittenen Prozessschritten. Die Einheit besteht aus zwei Modulen: dem Dünnschichtabscheidemodul, das eine präzise Steuerung der Abscheidegeschwindigkeit in einer einzigen Kammer ermöglicht, und dem Sputtermodul, das eine optimale Steuerung der Sputtervorgänge ermöglicht. Beide werden von einer Kombination aus Gleichstrom (DC) Plasmaquelle und Hochfrequenz (RF) Plasmaquelle gespeist. Das Dünnschichtabscheidungsmodul erzeugt mit HF-Leistung Plasma- und Abscheidefolien auf dem Substrat. Das Verfahren kann verwendet werden, um Filme bis zu einer Dicke von 50nm mit ausgezeichneter Wiederholbarkeit abzuscheiden. Die DC- und HF-Quellen können in Kombination zur Steuerung des Materialflusses durch die Abscheidekammer verwendet werden. Die Kammer umfasst ein temperaturgesteuertes Vakuumfutter und eine bewegungsgesteuerte Transportmaschine. Mit der Bewegungssteuerung kann die Abscheiderate exakt gesteuert und die Gleichmäßigkeit der Folien gewährleistet werden. Das Transportwerkzeug bietet auch eine schnelle und einfache Möglichkeit, Substrate ohne manuellen Eingriff von Kammer zu Kammer zu bewegen, was zu verkürzten Taktzeiten führt. Das Sputtermodul erzeugt mit Argongas eine Ionenquelle zum Ätzen und zum Aufsputtern von Filmen auf Substraten. Die Anlage hat die Fähigkeit, Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 10 Zoll zu verarbeiten und nutzt einstellbare Gleichstromleistung, um die Ätzrate zu steuern. Das Sputtermodul ist auf Gleichmäßigkeit und Reproduzierbarkeit ausgelegt und bietet gleichzeitig eine hohe Kontrolle über die Qualität von Filmen. AMAT Centura II DPS ist eine Hightech-Produktionslösung, die zuverlässige und konsistente Ergebnisse liefert. Das Modell wurde entwickelt, um eine schnelle und präzise Dünnschichtabscheidung zu ermöglichen, während es dem Benutzer auch ermöglicht, Parameter anzupassen, um die gewünschten Ergebnisse zu erzielen. Die Kombination von DC- und HF-Quellen und die hohe Kontrolle sorgt für Wiederholbarkeit und Gleichmäßigkeit der Folien.