Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura II #9137520 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9137520
Mainframe
(3) Emax systems
Comes with peripherals
No chambers
Wide body load lock
Dual hard disk COMPLY
Orienter: Wide hoop COMPLY
ENI 28B Overhaul
Magnet current drive
Output sensor: 0240-06322 COMPLY
Cable length: 40 fit
Robot VHP+ overhauled COMPLY
Gas panel station valves: VERIFLO.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura II ist ein Reaktor, der speziell für Anwendungen der chemischen Dampfabscheidung (CVD), der chemischen mechanischen Planarisierung (CMP) und des atomaren Schichtätzens (ALE) entwickelt wurde. Es ist eine Einzelwafer-Bearbeitungsanlage, die chemische und mechanische Prozesse zur Herstellung und Verfeinerung von Halbleiterbauelementen verwendet. Das System ist mit einem leistungsstarken 4,5-kW-Quellgenerator ausgestattet, der hohe Abscheideraten und hochpräzises Ätzen ermöglicht. AMAT Centura II verfügt über ein proprietäres Multi-Chamber-Design, das eine unabhängige Steuerung jeder Kammer ermöglicht, und hat einen maximalen Kammerdruck von bis zu 6 Torr. Das Gerät umfasst auch eine patentierte Gasfördermaschine, die während des gesamten Prozesses konsistente Gasgemische gewährleistet. Die installierten Kammergrößen von APPLIED MATERIALS CENTURA-II Reaktor kann von einer 50 mm Kammer bis zu einer 500 mm Kammer, je nach den Bedürfnissen des Benutzers. Es verfügt über eine Reihe fortschrittlicher Funktionen wie temperaturgesteuerte Wafer-Pyrometer und geschwindigkeitsgesteuerte Dreh- und Joggingstufen sowie Endpunkterkennung. Diese Präzisionskontrolle und Genauigkeit ermöglicht hochgenaue und wiederholbare Prozesse. Der AMAT CENTURA-II Reaktor wurde entwickelt, um automatisierte Prozesse mit seiner laufenden Prozesssteuerung zu ermöglichen und so für die Serienproduktion geeignet zu sein. Es basiert auf der gleichen Vakuumtechnologie und Hardware, die in den Centura-Laborsystemen verwendet wurde, was eine große Skalierbarkeit und den Übergang vom Labor zur Produktion ermöglicht. Für die Prozesssicherheit verfügt der CENTURA-II-Reaktor über ein integriertes Diagnosewerkzeug, das die Überwachung und Steuerung wichtiger Betriebsparameter wie Druck, Temperatur und Gasverteilung ermöglicht. Das Asset enthält auch eine erweiterte Überwachungsanzeige für die Fernansicht von Modellzuständen und Controller-Parametern. Insgesamt ist AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA-II eine vielseitige, zuverlässige und leistungsstarke Reaktorausrüstung, die sich für eine Reihe von CVD, CMP und ALE Anwendungen eignet. Mit seinen patentierten Funktionen und erweiterten Steuerungsfunktionen ist APPLIED MATERIALS Centura II ein unschätzbares Werkzeug für die Herstellung von Halbleiterbauelementen.
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