Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura II #9140763 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura II ist ein Halbleitersubstratverarbeitungsreaktor, der bei der Herstellung von integrierten Schaltungen (ICs) für die Herstellung von Hochvolumenprodukten verwendet wird. Es ist eine erweiterte Version des ursprünglichen Centura Reactor. AMAT Centura II ist eine clustertypische Ausrüstung, ausgestattet mit vier unabhängigen Lastschließkammern und zwei Prozesskammern. Die Lastschlösser dienen zum Einbringen und Entfernen von Substraten aus dem Reaktor. Die Lastschlösser verwenden ein Messerkantenventil und sorgen für eine Vakuumisolierung der Prozesskammer, während die Prozessumgebung sauber gehalten wird und Verschmutzungen verhindert werden. Dies gewährleistet eine hohe Umweltkontrolle innerhalb der Prozesskammern. Die Prozesskammern verfügen über ein Lastüberwachungssystem, das alle prozessbezogenen Daten einschließlich Temperatur- und Druckdaten während jedes Zyklus erfasst. Diese Daten dienen der Überwachung und Optimierung der Gesamtleistung des Reaktors. Angewandte Materialien CENTURA-II Reaktor ist mit einer ultradünnen Film-Abscheidungskammer ausgestattet, die Siliziumoxid, Siliziumnitrid und viele andere dielektrische Materialien zur Herstellung von ICs produzieren kann. Die Abscheidekammer ist mit einer hochreinen Gaszuführeinheit und einem gleichmäßigen Brausekopf zur anhaltenden Hochtemperaturabscheidung ausgestattet. Angewandte Materialien Centura II ist auch mit einer Ätzkammer für reaktives Ionenätzen (RIE) ausgestattet, die unerwünschtes Material aus der Prozesskammer entfernt. Diese Kammer ist mit einer Hochgeschwindigkeits-Plasmaquelle und einem Magnetfeldgenerator zur Erzeugung einer gleichmäßigen Ätzung ausgestattet. Das Magnetfeld wird verwendet, um die Gleichmäßigkeit über die Substratoberfläche zu erhöhen und die Ätzrate und Gleichmäßigkeit zu verbessern. Die Kammer ist außerdem mit einer Hochleistungs-HF-Quelle ausgestattet, um eine stabile Plasmagleichförmigkeit und ein gleichmäßiges Ätzen zu gewährleisten. CENTURA-II Reaktor ist auch mit Novellus' proprietäre Off-Platform Purge (OPP) Maschine ausgestattet. Das OPP-Werkzeug besteht aus einer voll integrierten Kammer, die eine zusätzliche beheizte Transferkammer überflüssig macht. Diese erweiterte Kammer verfügt über integrierte Gasstrahlen und eine Gasrückführungsanlage, die zusammen dazu dient, unerwünschte Nebenprodukte aus der Kammer zu entfernen und parasitäre Verluste zu reduzieren. AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA-II ist speziell für die Serienfertigung konzipiert und bei hohen Temperaturen und Drücken mit minimaler Ausfallzeit einsetzbar. Es wurde mit fortschrittlichen Steuerungs- und Diagnosesystemen entwickelt und ist somit ein äußerst zuverlässiger und kostengünstiger Substratverarbeitungsreaktor.