Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura IPS #293761026 zu verkaufen

ID: 293761026
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1998
System, 8" 1998 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura IPS ist ein innovativer Reaktortyp für Halbleiterherstellungsprozesse. Das IPS ist eine Single-Wafer-Ausrüstung mit Epsilon 02-3 Fusion™ Gasförderung und integrierter Wafer-Heizung, kombiniert mit einer Prozesssteuerungs- und Automatisierungsplattform für die Präzisions-Halbleiterherstellung. Das IPS besteht aus mehreren Einzelkomponenten, die zusammenarbeiten, um eine Vielzahl von Hochleistungsprozessen zu erreichen. Die primäre Komponente des IPS ist eine geschlossene thermische Kammer mit einem 400 MegaWatt RF-Generator, der zu schnellen Temperatur- und Druckbögen fähig ist. Innerhalb dieser thermischen Kammer befindet sich ein Gasfördersystem mit einer speziell ausgebildeten Anordnung von proprietären Gaseinlaß- und -austrittsöffnungen. Dies hilft auch, eine hochreine, niederohmige atmosphärische Umgebung zu schaffen, die sich ideal für die Verarbeitung von Hochleistungs-Halbleitermaterialien eignet. Das IPS verfügt zudem über eine leistungsstarke Endura IX + powered Plattform mit Gaseinspritzportfolios, Heißdrahtheizung und automatisierter optischer Erfassung. Dies ermöglicht schnellere Verarbeitungsgeschwindigkeiten und eine bessere Prozesssteuerung. Eine Vielzahl von Präzisionspositionierungsstufen sind enthalten, um die Gleichmäßigkeit der Ionenimplantation zu fördern. Das IPS wird von einer SPS-basierten Automatisierungseinheit angetrieben, die eine feine Kontrolle über Prozesse, eine größere Flexibilität bei der Programmierung von Rezepten und die Fähigkeit, den Prozess in Echtzeit zu überwachen und anzupassen, ermöglicht. Darüber hinaus ist das IPS mit einer Reihe von messtechnischen Werkzeugen ausgestattet, die es ermöglichen, den Fortschritt des Prozesses zu überwachen und verschiedene Kalibrieraufgaben zu bewältigen. Neben seiner Fähigkeit, eine Reihe von verschiedenen Materialien zu handhaben, ist AMAT Centura IPS eine effiziente, benutzerfreundliche Maschine, die auf höhere Sicherheitsstandards ausgelegt ist. Es wurde entwickelt, um die Prozessleistung zu verbessern und die Produktqualität zu verbessern und gleichzeitig ein unvergleichliches Maß an Präzision und Genauigkeit zu bieten.
Es liegen noch keine Bewertungen vor