Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura MCVD #293595636 zu verkaufen
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ID: 293595636
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2000
CVD Systems, 8"
WxZ Optima process
(4) Chambers
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura MCVD ist ein CVD-Reaktor (Chemical Vapor Deposition), der zur Herstellung von stark dotierten epitaktischen Folien für die Herstellung integrierter Schaltkreise entwickelt wurde. Es besteht aus Steuereinheit, Stromversorgung, Abscheidekammer und einem Wafer-Handhabungsprozess. Das Steuergerät verwaltet Betriebsparameter wie Abscheidezeit, Temperatur, Druck und Reaktantgase. Es enthält einen kleinen Mikroprozessor mit Bedienoberfläche und SPS-Programmierung. Die Steuereinheit umfasst auch Messeinrichtungen, Ventile und ein Datenspeichersystem zur Überwachung der Vorgänge im Reaktor. Die Stromversorgung liefert die für den Betrieb der verschiedenen Komponenten im Reaktor erforderliche elektrische Leistung. Es ist dazu ausgelegt, Wechselstrom mit einstellbarer Spannung und Frequenz zu versorgen, um eine konstante Temperatur in der Abscheidekammer zu halten. Die Abscheidekammer ist eine druck- und inerte Atmosphäre-kontrollierte Umgebung, die kontrollierte chemische Reaktionen ermöglicht. Es ist eingeschlossen, um das Austreten der Reaktantgase zu verhindern und schützt die Reaktanden auch vor atmosphärischen Veränderungen. Das Wafer-Handling-Verfahren dient zur Herstellung der Wafer, die in die Abscheidekammer eingelegt werden. Es enthält einen Arm, der den Wafer in die Kammer und aus ihm heraus bewegt. Der Arm verfügt über ein Positioniersystem und die notwendige genaue Temperaturregelung, um die Gleichmäßigkeit der Abscheidung zu gewährleisten. AMAT Centura MCVD Reaktor verfügt über eine breite Palette von Eigenschaften, die es für die Durchführung verschiedener Prozesse in der mikroelektronischen Industrie geeignet machen. Es hat auch eine lange Lebensdauer. Seine Zuverlässigkeit, Flexibilität und Benutzerfreundlichkeit machen es zu einer bevorzugten Wahl für Profis in der Mikroelektronik-Industrie.
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