Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura MCVD #9383682 zu verkaufen

ID: 9383682
Wafergröße: 8"
CVD System, 8" WxZ Optima process (4) Chambers.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura MCVD ist eine Art von CVD-Reaktor (Chemical Vapor Deposition), der eine Vielzahl von Einkristallmaterialien herstellen kann. CVD ist ein Verfahren zur gleichmäßigen Abscheidung von dünnen Schichten chemischer Verbindungen (in der Regel Halbleiter) auf einem Substrat. Das Verfahren verwendet eine Kombination von Gasen und Wärme, um eine dünne Materialschicht auf der Substratoberfläche zu erzeugen. AMAT Centura MCVD ist ein Hochleistungsreaktor. Es ist mit einem Gaskrümmer, zwei Suszeptor-Aufzügen und einer Vakuumpumpe ausgestattet. Der Gaskrümmer stellt eine Quelle für Reaktiv- und Trägergase bereit, die der Reaktionskammer zugeführt werden. Die beiden Suszeptor-Aufzüge dienen dazu, Suszeptor (Substrathalter) und Substrat in und aus der Reaktionskammer zu senken und anzuheben. Die Vakuumpumpe wird verwendet, um die Kammer von unerwünschten Dämpfen und Partikeln zu evakuieren. Die Reaktoren können mit mehreren Abscheidungsquellen verwendet werden, was eine Vielzahl von Prozeßabläufen ermöglicht. Dieser Reaktor ist speziell für den Einsatz in der CVD-Technik konzipiert, die eine große Kontrolle über Abscheideraten und Eigenschaften bietet. Je nach Art des abzuscheidenden Materials kann sich dieser Reaktor mit einer Geschwindigkeit von bis zu 7,5 µm pro Stunde abscheiden. Zusätzlich können durch Steuerung der Strömungsgeschwindigkeit der Gase und der Temperatur des Suszeptors die Reaktionsbedingungen zur Optimierung der kristallinen Struktur des Materials eingestellt werden. Die Kammer des APPLIED MATERIALS Centura MCVD Reaktors ist mit einem Quarzrohr ausgestattet, um eine gleichmäßige Gasverteilung um das Substrat sowie ein Quarzfenster zu gewährleisten, das eine visuelle Prozessüberwachung ermöglicht. Das Rohr und Fenster sind außerdem mit einem automatisierten Verschluss zur Sicherheit und zur Vermeidung von Schäden durch Umweltverschmutzungen ausgestattet. Der Reaktor ist mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen wie einem Verriegelungssystem für die Tür zur Verhinderung eines versehentlichen Eintritts und einer automatischen Abschaltfunktion im Notfall ausgelegt. Darüber hinaus ist es mit einem Gas-Handling-System ausgestattet, um gefährlichen Materialaufbau sowohl in der Kammer als auch außerhalb zu vermeiden. Centura MCVD Reaktor ist ein vielseitiges, Hochleistungsinstrument für den chemischen Dampfabscheidungsprozess. Mit seiner robusten Systemkonstruktion bietet es eine zuverlässige und effiziente Verarbeitung einer Vielzahl von Materialien, so dass Hersteller hochwertige Einkristallkomponenten herstellen können.
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