Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura MxP+ #201320 zu verkaufen

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ID: 201320
Wafergröße: 6"
Chamber, 6".
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura MxP + Reaktor ist ein fortschrittlicher Plasmaprozessreaktor zur Herstellung von Hochleistungsbeschichtungen, Filmen und dünnen Filmen. Die MxP + -Ausrüstung kombiniert eine universelle Stromversorgung, ein Siliziumnitrid-Substrat und eine turmartige Niederdruckinsel-Maske. Der AMAT Centura MxP + Reaktor verfügt über ein steuerbares universelles Netzteil, das bis zu 300 W Leistung liefert. Dies ermöglicht es seinen Benutzern, die Plasmaflussrate und die Temperatur des Substrats zu steuern, um das Abscheidungsrisiko zu verringern. Die Stromversorgung wurde entwickelt, um niedrige Durchflussspannung und eine Vielzahl von Prozessgasen wie Argon, Sauerstoff, Stickstoff und Helium zu unterstützen, um den Prozess zu optimieren. Das System umfasst auch eine robuste Steuereinheit, um jeden Prozessparameter in Echtzeit zu überwachen. MxP + hat Reaktor eine strapazierfähige Silikonnitridsubstrathaltermaschine, die ausgezeichnete Gleichförmigkeit über die Oblate sogar am niedrigen bondline Druck bietet. Der Siliziumnitrid-Substrathalter hat einen Niederdruck-Inselmaskenrevolver, der dafür ausgelegt ist, dass das Substrat sicher gehalten wird, ohne dass Oberflächenschäden auftreten. Dieses Revolverwerkzeug ist benutzerfreundlich, einfach zu bedienen und bietet ein großes Fenster der Bearbeitungsflexibilität. Der MxP + -Reaktor verfügt zudem über eine hochreine Quarzduschkopfkammer. Diese Kammer verfügt über eine Niederdruckumgebung, die dazu beiträgt, einen gleichmäßigen, stabilen Prozess für eine Vielzahl von Folienätz- und -abscheidungsanwendungen aufrechtzuerhalten. Der Reaktor hat auch eine Kühlanlage und Kammer Gasverteilungsmodell, um die Gleichmäßigkeit der Temperatur und Prozesssteuerung zu gewährleisten. Der MxP + -Reaktor ist ein zuverlässiges und vielseitiges Plasmaprozesswerkzeug, das für viele verschiedene Anwendungen eingesetzt wird, wie dünne Kompositionsfolien, Verbundhalbleiterfolien, Mehrschichtfolien und oberflächenaktivierte High-Aspect-Ratio-Stapel. Mit seiner flexiblen Stromversorgung, dem einheitlichen Substrathalter und fortschrittlichen Prozessleitsystemen ist das MxP + eine ideale Wahl für die fortschrittliche Filmproduktion.
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