Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura MxP #293750251 zu verkaufen
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ID: 293750251
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
Poly etcher, 8"
Orienter chamber: Hoop type: STD
Chamber wall flow sensor
Chamber cathode flow sensor
Chamber turbo pump flow sensor
No SMIF
EMO Switch type
EMO Guard ring
Chamber type:
Position A: Poly
Position B: Poly
Position F: Orienter
Load lock storage elevator:
Set stage mechanism: Up and down movement
Poly etch chamber:
Manometer type: 1 Torr
Throttling valve assy
Chamber O-rings: Viton
ENI OEM-12B RF Generator
BOC EDWARDS / SEIKO SEIKI STP-301 Turbo pump
BOC EDWARDS / SEIKO SEIKI Turbo pump controller
QUARTZ Endpoint window
Gas panel:
Gas panel doors: Solid
Top exhaust
No single line drop
Top single line drop gas line feed
SLD Fitting type: VCR
FUJIKIN Veriflow valve
MILLIPORE Ni 10 Ra Filter
AERA FC-780C Mass Flow Controller (MFC)
Gas configuration: Chamber A and B
Gas / Size
HBr / 100 SCCM
Cl2 / 100 SCCM
SF6 / 100 SCCM
CF4 / 50 SCCM
HeO2 / 10 SCCM
HeO2 / 100 SCCM
Power supply: 200/208 VAC, 60 Hz
1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura MxP ist ein vielseitiger, voll ausgestatteter Ätzreaktor, der eine qualitativ hochwertige Herstellung integrierter Schaltungen ermöglicht. Es wurde entwickelt, um ein präzises Ätzen von anspruchsvollen Materialien wie Oxiden, Metallen und Polymeren auf Mikron- und Nanometerebene zu ermöglichen. Der Ätzprozess kann auf die Anforderungen einer präzisen Merkmals- und Schichtdefinition genau zugeschnitten werden. AMAT Centura MxP verfügt über ein hohes Maß an Prozessleistung und Prozesskontrolle. Eine vollautomatische Prozesssteuerung umfasst Temperatur, HF-Impedanz und Drucküberwachung. Dies hilft, qualitativ hochwertige Ergebnisse zu gewährleisten. Darüber hinaus bietet das System eine präzise Steuerung der Oxidations-, Nanodünnschichtbildungs- und Ätzprozesse. Zum präzisen Ätzen anspruchsvoller Materialien bietet APPLIED MATERIALS Centura MxP präzise Ätzkammern, elektromagnetische Felder und fokussierte Ionenstrahltechnologie. Dies ermöglicht hochpräzises Ätzen mit sehr kleinen Formstückgrößen und engen Toleranzen. Darüber hinaus ist die Einheit anpassbar, um die sich ständig ändernden Anforderungen ambitionierter Ätzprozesse zu erfüllen, einschließlich mehrstufiger Plasmabearbeitung, Dünnschichtabscheidung, Plasmasputtern und mehr. Centura MxP ist eine effiziente, fortschrittliche Ätzmaschine, die für die Hochleistungsfertigung entwickelt wurde. Ein effizientes HF-Tool mit hoher Genauigkeit ermöglicht enge Toleranzen und einen effizienten Betrieb, während ein innovatives Design ein modulares Asset gewährleistet, das leicht an zahlreiche Anwendungsanforderungen angepasst werden kann. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura MxP verfügt auch über präzise elektrostatische, Faraday- und Ionenfalle, um sicherzustellen, dass alle Ionen genau erkannt und gehandhabt werden. Dieses fortschrittliche Ionenfang- und Funktionsdefinitionsmodell verbessert die Einheitlichkeit und Genauigkeit, sorgt für maximalen Produktionsertrag und senkt letztlich die Betriebskosten. Der zuverlässige und robuste AMAT Centura MxP ist ein umfassendes Ätzmodell, das exzellente Ätzergebnisse auf höchstem Qualitätsniveau liefert. Mit seinen fortschrittlichen Prozessen, der Präzisions-Ionenfalle und dem Modell der Funktionsdefinition ist APPLIED MATERIALS Centura MxP die ideale Wahl für anspruchsvolle Ätzprojekte, die enge Toleranzen und leistungsstarke Ergebnisse erfordern.
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