Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura MxP #293762513 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura MxP ist ein fortschrittlicher Reaktor, der für die Abscheidung von Dielektrika, Passivierungs- und Barriereschichten in einer Vielzahl fortschrittlicher Verpackungs-, Halbleiter- und Geräteherstellungsanwendungen entwickelt wurde. AMAT Centura MxP ist ein spezialisierter, hochtemperaturstarker Einkammerreaktor, der mehrere Schritte in einem einzigen Prozess ausführen kann, ohne dass mehrere Kammertransfers erforderlich sind. Das innovative Design von APPLIED MATERIALS Centura MxP bietet eine breite Palette von Prozessfähigkeiten, einschließlich der Abscheidung von Low-K-dielektrischen Materialien, Passivierungsschichten und Barriereschichten. Der Reaktor verfügt über ein einzigartiges Mehrzonenbetriebssystem, das eine unabhängige Temperatur- und Druckregelung in jeder Zone ermöglicht, was höhere Abscheideraten, eine effiziente konforme Beschichtung und eine qualitativ hochwertige Topographie in komplexen Strukturen ermöglicht. Die Konstruktion der Centura MxP ermöglicht aufgrund des modularen Aufbaus der Reaktorkammer und ihrer unabhängig gesteuerten Zonen eine hohe Prozesssteuerung. Die separate Kammer für gepulste Reaktanden ermöglicht eine optimale Steuerung des Prozessdrucks innerhalb der Kammer. Der Reaktor ist auch in der Lage, schnelle thermische Prozesse unterzubringen, die eine schnelle thermische Behandlung von Substraten bei Temperaturen bis zu 850 ° C mit einer Vielzahl von Gas- und Gasgemischen ermöglichen. Diese schnelle thermische Fähigkeit ermöglicht eine schnelle Abscheidung und Glühen von Dielektrika und Barriereschichten, so dass kürzere Prozesszeiten und verbesserte Ausbeuten. Darüber hinaus verfügt die Centura MxP über eine hochmoderne Abgasanlage mit hochgefiltertem Spülgas, um eine saubere, ultraarme Partikelabscheidung zu gewährleisten. Die integrierte Fernüberwachung und Steuerung von AMAT Centura MxP ermöglicht eine einfache Integration in Prozessleitsysteme und Automatisierungsplattformen. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura MxP ist auch eine eigenständige Prozessplattform, mit der Anwender ihre Prozesse ohne zusätzliche externe Systeme laden, überwachen und steuern können. Darüber hinaus ist der Reaktor mit einer Reihe von Reaktorkammergrößen und Optionen in hohem Maße konfigurierbar, sodass der Benutzer das System auf seine spezifischen Anforderungen abstimmen kann. Insgesamt ist Centura MxP ein fortschrittlicher Einkammerreaktor, der für Anwendungen entwickelt wurde, die eine höhere Abscheidungsrate, eine extrem niedrige Partikelabscheidung und schnellere Prozesszeiten erfordern. Der Reaktor verfügt über Mehrzonensteuerungen, schnelle thermische Prozesse, saubere Abgase und eine einfache Integration in Steuerungssysteme, während sein modularer Aufbau maximale Prozesskontrolle und Flexibilität ermöglicht.
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