Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura MxP+ #9116736 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura MxP + Reaktor ist ein Reaktor mit hohem Durchsatz und einem einzigen Waferreaktor, der für die Herstellung fortschrittlicher Mikrogeräte entwickelt wurde. Die MxP + -Ausrüstung ist eine vielseitige Prozessplattform, die es dem Anwender ermöglicht, eine Vielzahl von Prozessen zu entwickeln und zu nutzen. Der MxP + verfügt über eine große Flachbettreaktorkammer, die eine gleichmäßige Temperatur- und Plasmaverteilung über die Substratoberfläche erzeugt. Der MxP + -Reaktor enthält zwei Prozessmodule, die unabhängig oder in Kombination eingesetzt werden können. Das erste Modul ist das Standard Process Module (SPM), welches die Abscheidung von dünnen Filmen mittels gut charakterisierter Abscheidungstechniken, wie Niederdruck-Chemikaliendampfabscheidung (LPCVD), ermöglicht. Das zweite Modul ist das Advanced Process Module (APM), das erweiterte Funktionen für erweiterte Prozessfunktionen bietet. Das APM kann zur plasmaverbesserten chemischen Dampfabscheidung (PECVD) und Atomschichtabscheidung (ALD) eingesetzt werden. Der MxP + -Reaktor ist in der Lage, mit einer Vielzahl von Gasen und reaktiven Materialien zu arbeiten, darunter Silan, Sauerstoff und Ammoniak. Das System ist mit beiden Prozessen vollständig kompatibel und die Prozessergebnisse können zwischen den beiden Modulen übertragen werden. Auf diese Weise können Benutzer ihre Prozesse anpassen und gleichzeitig qualitativ hochwertige Ergebnisse erhalten. Der MxP + bietet ein umfangreiches Spektrum an Sicherheitsmerkmalen, darunter eine Inertisierungseinheit, eine Gasentlüftungsmaschine, ein Oxidationsschutzwerkzeug und eine Temperaturüberwachungsanlage. Diese Eigenschaften bieten eine sichere Betriebsumgebung und verhindern Beschädigungen oder Verschmutzungen des Substrats. Der MxP + ist auch mit ausgefeilter Überwachungs- und Steuerungstechnik ausgelegt. Diese Technologie ermöglicht es, eine Vielzahl von Prozessparametern dynamisch zu überwachen und anzupassen, wodurch Abscheideraten, Abscheidegleichmäßigkeit und Kammertemperaturen präzise gesteuert werden können. AMAT Centura MxP + ist ideal für Prozesse, die einen hohen Durchsatz und qualitativ hochwertige Ergebnisse erfordern. Es ist die ideale Wahl für eine Vielzahl von Feldern, von Halbleitern über Speicherchips und von LEDs bis hin zu Solarzellen. Es ist in der Lage, sich durch eine breite Palette von Dicken abzuscheiden und kann verwendet werden, um Nanoskala-Geräte mit klarer Reproduzierbarkeit zu erstellen, um gleichbleibend hohe Qualitätsergebnisse zu gewährleisten.